[发明专利]一种多晶硅冶炼炉用观察窗系统无效
申请号: | 201010105383.0 | 申请日: | 2010-02-03 |
公开(公告)号: | CN102140683A | 公开(公告)日: | 2011-08-03 |
发明(设计)人: | 黄丰;吕佩文;董建平;黄顺乐;陈伦泰;林钟潮;柯永灿 | 申请(专利权)人: | 中国科学院福建物质结构研究所 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B35/00;C01B33/037 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 350002 *** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 冶炼 观察窗 系统 | ||
技术领域
本发明新型涉及一种多晶硅冶炼炉用观察窗系统的研制,属于物理冶金法提纯多晶硅相关设备技术领域。
背景技术
物理冶金法提纯多晶硅是指:采用对冶金级的硅进行造渣、精炼、酸洗(湿法冶金)、定向凝固等方式,将杂质去除,而提纯得到太阳能级多晶硅的方法,俗称物理法。
基于物理冶金法提纯的原理研制的多晶硅冶炼炉一般需要在真空或封闭的条件下工作,因此外围是耐压壳体。观察窗系统是观测冶炼炉内部,保证其正常运行的最重要的设备。目前,观察窗系统只能满足观察、测温的需要,在复杂条件下或突发情况下无法使用。
发明内容
本发明的目的在于研制出一种观察窗系统,集成了观察,测温,滑板保护,擦拭等功能,使其满足在各种条件下的使用要求。
为了实现上述目的,本发明采用如下技术方案:
1.一种多晶硅冶炼炉用观察窗系统,包括石英玻璃,旋转擦拭装置,底座,滑板,密封垫圈,红外测温支架,其特征在于:滑板水平安装于底座的中间,旋转擦拭装置垂直安装于底座的侧方。
2.如项1所述的多晶硅冶炼炉用观察窗系统,其特征在于:滑板部有一个圆形开口,开口大小与观察窗大小接近。
3.如项1所述的多晶硅冶炼炉用观察窗系统,其特征在于:旋转擦拭装置上固定有耐高温软性材料,如炭纤维、石墨纤维等。
本发明结构简单,具有使用安全、改装方便等优点。可以方便的安装在炉体表面,必要时可以改成电动以实现控制。
附图说明
图1为本发明实施例所采用的结晶炉的主观结构示意图。
图2为本发明实施例所采用的结晶炉的俯视结构示意图。
具体实施方式
观察窗系统,包括石英玻璃1,旋转擦拭装置2,底座3,滑板4,密封垫圈5,红外测温支架6。
安装有本发明的观察窗系统的多晶硅炉,正常情况是滑板4的开孔与观察窗系统的光路一致,旋转擦拭装置2位于窗口的一侧。操作人员通过窗口和其上的红外线测温仪了解炉内情况。
当出现熔体飞溅等突发情况时,操作人员可通过伸入滑板4,遮挡玻璃窗口以保护系统不受危害。待情况稳定后适当滑动滑板4调整开孔大小以实现观测的目的。尤其是实验情况比较危险时,该系统可通过加装电动装置、摄像设备来实现远程控制,安全性极高。
当出现炉内有高温挥发物污染窗口,使观测无法实现时,可使用旋转擦拭来擦拭窗口,使其重新可用。满足了在各种情况下对观察窗口的要求。
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