[发明专利]一种多晶硅冶炼炉用观察窗系统无效

专利信息
申请号: 201010105383.0 申请日: 2010-02-03
公开(公告)号: CN102140683A 公开(公告)日: 2011-08-03
发明(设计)人: 黄丰;吕佩文;董建平;黄顺乐;陈伦泰;林钟潮;柯永灿 申请(专利权)人: 中国科学院福建物质结构研究所
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06;C30B35/00;C01B33/037
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 350002 *** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 多晶 冶炼 观察窗 系统
【权利要求书】:

1.一种多晶硅冶炼炉用观察窗系统,包括石英玻璃,旋转擦拭装置,底座,滑板,密封垫圈,红外测温支架,其特征在于:滑板水平安装于底座的中间,旋转擦拭装置垂直安装于底座的侧方。

2.如权利要求1所述的多晶硅冶炼炉用观察窗系统,其特征在于:滑板部有一个圆形开口,开口大小与观察窗大小接近。

3.如权利要求1所述的多晶硅冶炼炉用观察窗系统,其特征在于:旋转擦拭装置上固定有耐高温软性材料,如炭纤维、石墨纤维等。

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