[发明专利]一种芯片测试处理机

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于将待测试芯片从用户托盘拾取并装载到测试机上进行测试，并依 据测试结果将芯片进行分级的测试处理机。

背景技术

测试处理机是一种用于对待测试半导体器件进行传送、装载、测试与分选的测试筛选 设备，是一种替换人工测试的自动化测试设备，因为采用精密加工技术，传感器检测技术， 智能控制技术，因而可以获得良好的测试准确性和运行稳定性，大大消除了人工测试的繁 琐过程，提高了生产效率。随着市场上电子消费品种的日益增多，各种各样的芯片也越来 越多，因而自动化程度较高的测试处理机日益受到表睐。但目前所公知的测试处理机存在 着整体结构不合理，使用不方便，使用性能不稳定，影响使用效果等缺陷。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术存在的不足，而提供一种结构合理，使用方便，使用 性能稳定，使用效果好的芯片测试处理机。

本发明的目的是通过如下技术方案来完成的，它主要包括有：

一装载单元，所述装载单元包括一个可拆卸式用户托盘料盒，该用户托盘料盒用于定 位用户托盘，用户托盘中容纳有待测试芯片；

一预定位单元，包括一个精密导向定位板，和一个产生振动的振动源；

一平置姿态检测单元，包括一组高精度传感器，用于检测放置于测试治具中的芯片是 否处于水平放置姿态；

一拾取单元，包括一个多头拾取器和一个机械夹，多头拾取器用于拾取芯片，机械夹 用于拾取用户托盘；

一测试单元，包括测试治具，和一个竖直升降机构；

一精密分度转台单元，用于精确控制工位；

一水平多关节机械手，成为一个四自由度机器人。

所述的装载单元包括待测料盘装载单元和成品料盘装载单元，待测料盘装载单元用于 装载容纳待测芯片的用户托盘，成品料盘装载单元用于装载空的用于容纳测试完成后分级 的芯片的用户托盘；所述装载单元还包括一组线性运动机构，线性运动机构用于提升或降 低用户托盘料盒中的用户托盘。

所述的线性运动机构包括一个步进电机，一个丝杆，一个与丝杆配合的螺母，两个限 位位置传感器，和一个固定于螺母上的托盘顶杆；所述的步进电机通过丝杆螺母组成的变 速机构与托盘顶杆相连并使托盘顶杆作上升与下降的直线运动。

所述的预定位单元包括一个精密导向定位板，一个电磁铁，和一个安装底座；精密导 向定位板固定于安装底座上，电磁铁固定于安装底座上并位于精密导向定位板下方，受控 电磁铁的吸合产生的速度与频率以合适的速度敲击精密导向定位板迫使待测芯片沿着导 向定位槽的导向斜面下滑，芯片落入导向定位槽中，从而实现芯片的精确定位。

所述的平置姿态检测单元包括一组可以依据待测芯片调节灵敏度的传感器，该组传感 器的排列方式与待测芯片的排列方式相一致，以确定测试单元中有无待测芯片或确定测试 单元中容纳的待测芯片是否处于水平放置姿态。

所述的拾取单元包括一个多头拾取器和一个类似于手指、用于拾取用户托盘的机械 夹，多头拾取器至少由四个拾取头组成，每个拾取头由独立控制的气动缸、弹簧式缓冲导 向机构和吸嘴组成，吸嘴安装于弹簧式缓冲导向机构活动件上，气动缸驱动弹簧式缓冲导 向机构活动件做上升与下降运动。

所述的测试单元，包括一个上测试模块与四个下测试模块，上测试模块安装于上测试 模块开合机构上，下测试模块安装于精密分度转台上，精密分度转台有四个工位，依次为 装载、平置姿态检测、测试和卸载工位。

所述的装载单元中的用户托盘料盒包括一个用于容纳用户托盘的导向料仓，和一个用 于定位用户托盘的导向定位板。

所述的待测料盘装载单元中的用户托盘料盒用于盛放容纳有待测芯片的用户托盘，在 用户托盘的最上层有一层防护盖。

所述的水平多关节机械手，是一个四自由度机器人；所述的拾取单元，被安装于水平 多关节机械手上。

本发明与现有技术相比，具有结构合理，使用方便，使用性能稳定，使用效果好等特 点。

附图说明

图1是本发明的俯视结构示意图。

图2是本发明的整体结构示意图。

图3是本发明所述的左右装载单元一种侧视结构示意图。

图4是本发明所述的左右装载单元另一种侧视结构示意图。