[发明专利]一种芯片测试处理机

权利要求书

1.一种测试处理机，其特征在于它主要包括有：

一装载单元，所述装载单元包括一个可拆卸式用户托盘料盒，该用户托盘料盒用于定 位用户托盘，用户托盘中容纳有待测试芯片；

一预定位单元，包括一个精密导向定位板，一个电磁铁，和一个安装底座；精密导向 定位板固定于安装底座上，电磁铁固定于安装底座上并位于精密导向定位板下方，受控电 磁铁的吸合产生的速度与频率以合适的速度敲击精密导向定位板迫使待测芯片沿着导向 定位槽的导向斜面下滑，芯片落入导向定位槽中，从而实现芯片的精确定位；

一平置姿态检测单元，包括一组高精度传感器，用于检测放置于测试治具中的芯片是 否处于水平放置姿态；

一拾取单元，包括一个多头拾取器和一个机械夹，多头拾取器用于拾取芯片，机械夹 用于拾取用户托盘；

一测试单元，包括测试治具，和一个竖直升降机构；

一精密分度转台单元，用于精确控制工位；

一水平多关节机械手，成为一个四自由度机器人。

2.根据权利要求1所述的测试处理机，其特征在于所述的装载单元包括待测料盘装 载单元和成品料盘装载单元，待测料盘装载单元用于装载容纳待测芯片的用户托盘，成品 料盘装载单元用于装载空的用于容纳测试完成后分级的芯片的用户托盘；所述装载单元还 包括一组线性运动机构，线性运动机构用于提升或降低用户托盘料盒中的用户托盘。

3.根据权利要求2所述的测试处理机，其特征在于所述的线性运动机构包括一个步 进电机，一个丝杆，一个与丝杆配合的螺母，两个限位位置传感器，和一个固定于螺母上 的托盘顶杆；所述的步进电机通过丝杆螺母组成的变速机构与托盘顶杆相连并使托盘顶杆 作上升与下降的直线运动。

4.根据权利要求1所述的测试处理机，其特征在于所述的平置姿态检测单元包括一 组可以依据待测芯片调节灵敏度的传感器，该组传感器的排列方式与待测芯片的排列方式 相一致，以确定测试单元中有无待测芯片或确定测试单元中容纳的待测芯片是否处于水平 放置姿态。

5.如权利要求1所述的测试处理机，其特征在于所述的拾取单元包括一个多头拾取 器和一个类似于手指、用于拾取用户托盘的机械夹，多头拾取器至少由四个拾取头组成， 每个拾取头由独立控制的气动缸、弹簧式缓冲导向机构和吸嘴组成，吸嘴安装于弹簧式缓 冲导向机构活动件上，气动缸驱动弹簧式缓冲导向机构活动件做上升与下降运动。

6.根据权利要求1所述的测试处理机，其特征在于所述的测试单元，包括一个上测 试模块与四个下测试模块，上测试模块安装于上测试模块开合机构上，下测试模块安装于 精密分度转台上，精密分度转台有四个工位，依次为装载、平置姿态检测、测试和卸载工 位。

7.根据权利要求1所述的测试处理机，其特征在于所述的装载单元中的用户托盘料 盒包括一个用于容纳用户托盘的导向料仓，和一个用于定位用户托盘的导向定位板。

8.根据权利要求2所述的测试处理机，其特征在于所述的待测料盘装载单元中的用 户托盘料盒用于盛放容纳有待测芯片的用户托盘，在用户托盘的最上层有一层防护盖。

9.如权利要求1所述的测试处理机，其特征在于所述的水平多关节机械手，是一个 四自由度机器人；所述的拾取单元，被安装于水平多关节机械手上。