[发明专利]压模制造方法以及只读光盘的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及用于制造光盘的压模的制造方法和只读光盘的制造方法。

背景技术

[专利文件1]日本专利申请特开2007-287261号公报

[专利文件2]国际公开2003/009284号单行本

近年来，随着光盘的高密度化，例如，蓝光光盘(注册商标)被广泛用作高密度光盘。

尽管已经普及的DVD(数字通用盘，Digital Versatile Discs)每个有4.7GB(千兆字节)的存储容量(单一记录层)，但蓝光光盘每个的存储容量高至25GB。在光盘原盘的制版(matering)工艺中通过小型化点图案(pitpattern)，使这种高密度化成为可能。

在过去DVD的制版工艺中，经过激光曝光的有机抗蚀剂通过光学模式感光。光学模式记录面积与曝光光斑直径成比例，并有几乎相当于光斑直径的一半的分辨率。曝光光斑直径由表达，其中λ表示激光波长，并且NA表示透镜的数值孔径。

相反，在蓝光光盘的制版工艺中，采用无机材料的抗蚀剂(无机抗蚀剂)进行切割，因此分辨率可显著改善。

只读蓝光光盘，即ROM型蓝光光盘(以下，也称为“BD-ROM”)按照以下方式制造，信息通过凹凸状压印点图案记录在该ROM型蓝光光盘上。

首先，进行使用无机抗蚀剂的原盘(matrix)的切割和显影工艺，从而获得形成有点图案的原盘。然后，采用该原盘，通过镍电镀工艺形成压模。该压模通过反向转印原盘的点图案获得。

在此之后，塑料基板(光盘基板)使用压模通过注塑成型形成，并且反射膜和覆盖层等形成在每个已形成的光盘基板上，从而获得最后的光盘。

这里，在需要大量制造光盘产品(如在光盘中提供热播电影的情况)时，必须有效地制作大量光盘。因此，在蓝光光盘(BD-ROM)的情况下，要求制造方法可以实现由单一原盘制造大量压模。

与在相关技术中采用有机抗蚀剂的原盘不同，采用无机抗蚀剂的原盘能够从单一原盘制造大量压模。

如图7所示，如果大量的主盘压模Ma(Ma#1，Ma#2，Ma#3，...)可以从单一原盘形成，那么可以使用主盘压模并行进行注塑成型，从而制造光盘基板。

此外，每一主盘压模Ma被再次电镀，从而形成母压模MT(MT#1，MT#2，...)，其凹凸状与主盘压模Ma的凹凸状是反转的。然后，形成子压模SN(SN#1，SN#2，...)，其凹凸状与母压模MT的凹凸状进一步反转。结果，同样采用子压模SN，光盘基板可以通过并行地进行注塑成型来制造。

这是用于批量生产的期望的复制工艺，这是因为，如果大量的主盘压模Ma和子压模SN(即，可用于注塑成型的压模)能够从单一原盘以指数形式制造，则光盘基板可以采用那些压模并行地制造，结果可以实现整个工艺效率的改善和短期批量生产。

发明内容

然而，如果主盘压模Ma由原盘反复地制造，那么压模的制造时间的越晚，基于那些压模制造的光盘的信号特性越差。特别是，导致如下所述的不对称的问题。

光盘制造方法通常涉及照射半导体激光到光盘上并检测从其返回的光。信号特性通过准确地再现记录数字信号来评价。在再现期间，25-GB的BD-ROM以4.92m/s的线性速度旋转，规定为具有15.15ns的1个时钟，并且构成2T至8T(30.30ns至121.20ns)(T表示信道时钟周期)的点和间隔。

在模拟示波器(也称为眼图)上的再现波形如图8所示。在只读光盘中，因为随着点和间隔的凹凸间距变小，衍射效应变大，所以MTF变小和调制角度减小。于是，2T信号的振幅减到最小。

应当注意，在图8中，″I8H″是8T图案的峰值水平，″I2H″是2T图案的峰值水平，“I2L”是2T图案的底水平，而“I8L”是8T图案的底水平。

在实际的再现设备中，检测为模拟信号的波形由非线性均衡器放大以纠正取决于点长度的幅度差，并且在振幅中心附近的特定电压水平设定为阈值，以将波形二进制化为0和1。

作为信号评价的指标，主要可以列举出抖动(jitter)，不对称(asymmetry)和调制(modulation)。抖动(与规则时钟的偏差)采用标准差σ和1T由σ/T表示。

应当考虑到，抖动值越大，再现信号变得越差。在有单一记录层的BD-ROM中，抖动在标准上规定为6.5％或更低，但当然是越低越好。在实际制造中，考虑到余量，抖动需要是6％或更低。

调制(调制度)表示为(I8H-I8L)/(I8H)。这是8T幅度大小和取决于8T点深度的指标。C/N比率随该值的增加而变高。