[发明专利]组装薄胶膜于光掩模上的方法、设备及其组装体

权利要求书

1.一种组装薄胶膜于光掩模上的方法，包括：

以一真空紫外光照射一光掩模于一极度洁净干空气的气氛或一惰性气 体；以及

当光掩模于该极度洁净干空气的气氛或惰性气体的环境中且曝露在真空 紫外光中，组装一薄胶膜于该光掩模上，

其中该惰性气体为被压缩的。

2.如权利要求1所述的组装薄胶膜于光掩模上的方法，还包括密封该薄 胶膜于该光掩模上，以避免污染物进入或该极度洁净干空气或惰性气体逸出。

3.如权利要求1所述的组装薄胶膜于光掩模上的方法，其中上述照射步 骤包括使用一准分子激光。

4.一种组装薄胶膜于光掩模上的设备，包括：

一腔体，具有至少一端口，以将该腔体填充一极度洁净干空气的气氛或 一惰性气体；

一薄胶膜组装器于该腔体中；

一真空紫外光源，当该腔体填充该极度洁净干空气或该惰性气体时，用 以照射一光掩模，该光掩模固定于该薄胶膜组装器，

其中，当该真空紫外光源持续地提供真空紫外光线时，将薄胶膜组装于 该光掩模上，

其中该惰性气体为被压缩的。

5.如权利要求4所述的组装薄胶膜于光掩模上的设备，其中该光源为一 氖准分子激光。

6.如权利要求4所述的组装薄胶膜于光掩模上的设备，其中该腔体具有 至少一端口，供可密封的该腔体填充予该极度洁净干空气或该惰性气体。

7.如权利要求4所述的组装薄胶膜于光掩模上的设备，其中当该光掩模 固定于该薄胶膜组装器时，该光源设置以提供一倾斜角度的光线相对于该光 掩模。

8.如权利要求4所述的组装薄胶膜于光掩模上的设备，其中：

该光源为一氖准分子激光，其提供一光波，其波长为172nm；

该腔体具有一第一端口，供该腔体填充予该极度洁净干空气或该惰性气 体，及第二端口，供该腔体抽真空；

当该光掩模固定于该薄胶膜组装器时，该光源设置以提供一倾斜角度的 光线相对于该光掩模；以及

该薄胶膜组装器具有自动化操作的能力。

9.一种组装薄胶膜于光掩模上的组装体，包括：

一光掩模；

一薄胶膜框架密封地贴附于该光掩模；以及

一薄胶膜接合至该薄胶膜框架，形成由该光掩模、该薄胶膜框架和该薄 胶膜黏结的一密封的围圈，该密封的围圈内填充以一惰性气体；

其中该组装体的形成方式包括：

以一真空紫外光照射该光掩模于一极度洁净干空气的气氛或该惰性气 体；及

在该极度洁净干空气的气氛或惰性气体环境中且曝露在真空紫外光中， 密封该光掩模、该薄胶膜框架和该薄胶膜于一体，

其中该惰性气体为被压缩的。