[发明专利]X射线检查区域设定方法及设定程序、X射线检查装置

权利要求书

1.一种X射线检查区域设定方法，用于设定检查区域，该检查区域用于利用X射线来检查基板，其特征是，包括：

显示可见光图像的步骤，该可见光图像是从与基板面垂直的方向拍摄上述基板所得到的；

接受对信息的输入的步骤，该信息用于在所显示的上述图像中指定安装在基板上的元件存在的范围；

根据X射线的透视图像来生成三维的重建数据的步骤，该X射线的透视图像是指，对包括所指定的上述范围内的元件的区域的三维区域进行X射线透视所得到的透视图像；

通过对上述三维的重建数据进行处理，确定用于连接上述基板和上述元件的配线的位置的信息的步骤；

根据所确定的配线的位置的信息，在上述三维区域中确定与上述配线对应的区域，并将所确定的区域设定为检查区域的步骤。

2.如权利要求1所述的X射线检查区域设定方法，其特征是，还具有将所设定的检查区域以与上述可见光图像重叠的方式显示的步骤。

3.如权利要求1所述的X射线检查区域设定方法，其特征是，

在确定上述配线的位置的信息的步骤中，在上述三维的重建数据中将上述垂直的方向上的规定的范围内的数据作为处理对象，

生成将上述三维的重建数据的多个剖面图像的各像素在断层图像的垂直方向上重叠得到的数据，上述多个剖面图像与上述垂直的方向平行且相互平行，

在上述垂直的方向上的各位置计算上述重叠得到的数据的亮度的累积值，上述规定的范围包括上述亮度的累积值具有峰值的垂直方向上的位置。

4.如权利要求3所述的X射线检查区域设定方法，其特征是，上述规定的范围是指，包括上述亮度的累积值具有峰值的上述垂直方向上的位置，而且由于根据成为处理的对象的三维的重建数据的范围所推定的基板倾斜而上述垂直方向上的位置变动的范围。

5.一种X射线检查装置，利用X射线来检查基板，其特征是，具有：

可见光图像拍摄单元，其从与基板面垂直的方向拍摄基板的可见光图像；

显示单元，其显示拍摄到的上述可见光图像；

输入单元，其用于输入信息，该信息用于在所显示的上述图像中指定安装在基板上的元件存在的范围；

X射线图像拍摄单元，其拍摄X射线的透视图像；

图像生成单元，其对于包括通过上述输入单元所指定的元件存在的范围的三维的区域，根据上述X射线图像拍摄单元拍摄到的X射线的透视图像来生成三维的重建图像；

确定单元，其通过对上述三维的重建图像的数据进行处理，确定用于连接上述基板和上述元件的配线的位置的信息；

设定单元，其根据所确定的配线的位置的信息，在上述三维的区域中确定与上述配线对应的区域，并将所确定的区域设定为检查区域。

6.一种计算机可读取的X射线检查区域设定程序，由利用X射线来检查基板的X射线检查装置的计算机执行，设定用于检查基板的检查区域，其特征是，使上述X射线检查装置的计算机执行以下步骤：

显示拍摄上述基板得到的可见光图像的步骤；

接受对信息的输入的步骤，该信息用于对上述所显示的图像指定安装在基板上的元件的位置和元件所在的范围；

根据所指定的上述元件所在范围的X射线的透视图像，生成三维的重建数据的步骤；

通过对上述三维的重建数据进行处理，确定用于连接上述基板和上述元件的配线的位置的信息的步骤；

根据所确定的配线的位置的信息来确定与上述配线对应的区域，并将所确定的区域与上述可见光图像上的位置重叠显示的步骤。