[发明专利]基板处理装置

权利要求书

1.一种基板处理装置，其特征在于，包括：

腔室；

配置于所述腔室内的第一电极；

在所述腔室内与所述第一电极相对配置、保持基板的第二电极；

对所述第二电极施加50MHz以上的频率的RF电压的RF电源；

脉冲电源，该脉冲电源对所述第二电极反复施加与所述RF电压重叠的、包含负电压脉冲和从该负电压脉冲起延迟时间为50n秒以下的正电压脉冲的电压波形。

2.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

所述正电压脉冲的占空比为0.1％以上、20％以下。

3.如权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，

所述电压波形包含多个正电压脉冲或者多个负电压脉冲。

4.如权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，

所述脉冲电源包括：

具有对应于所述负电压脉冲的峰值电压的第一电压的第一电源；

具有对应于所述正电压脉冲的峰值电压的第二电压的第二电源；

被施加所述第一、第二电源、和接地电位中的任一的输出端；

对所述第一电源与所述输出端的连接状态进行切换的第一开关；

对所述第二电源与所述输出端的连接状态进行切换的第二开关；

对所述接地电位与所述输出端的连接状态进行切换的第三开关；

控制所述第一开关～所述第三开关的控制部。

5.如权利要求4所述的基板处理装置，其特征在于，

所述控制部具有：

使所述第一开关为闭合状态、使所述第二、第三开关为断开状态，使得向所述输出端输出所述负电压脉冲的第一控制部；

使所述第二开关为闭合状态、使所述第一、第三开关为断开状态，使得向所述输出端输出所述正电压脉冲的第二控制部；

使所述第三开关为闭合状态、使所述第一、第二开关为断开状态，使得向所述输出端输出所述接地电位的第三控制部。