[发明专利]线性运动驱动器及线性运动驱动器单元的制造方法

权利要求书

1.一种线性运动驱动器，其特征在于，

该线性运动驱动器包括：

线性运动驱动器主体，其具有定子和能够相对于该定子在规定方向上往复动作的可动件；

壳体，其在固定了上述线性运动驱动器主体的一部分的状态下大致包围该线性运动驱动器主体的周围；

液状体，其以浸渍上述线性运动驱动器主体所具有的线圈的状态填充到上述壳体的内部空间中，该液状体具有绝缘性和润滑性。

2.根据权利要求1所述的线性运动驱动器，其特征在于，

将上述定子的一部分固定在上述壳体上，将该壳体的一部分固定在减振对象物或者励振对象物上，将上述可动件动作时的反作用力通过上述定子和上述壳体传递到上述减振对象物或者励振对象物。

3.根据权利要求1或2所述的线性运动驱动器，其特征在于，

上述定子还具有以使上述可动件能够往复动作的方式支承该可动件的可动支承部，上述油以浸渍上述可动支承部的状态填充到上述内部空间中。

4.根据权利要求3所述的线性运动驱动器，其特征在于，

上述可动支承部具有板簧或者滑动轴承。

5.一种线性运动驱动器，其特征在于，

将线性运动驱动器主体以其一部分固定在壳体上且周围被该壳体包围的状态收容在该壳体内，在将线性运动驱动器主体收容在该壳体内之前或者收纳在该壳体内之后，向该壳体内以浸渍该线性运动驱动器主体的线圈的状态填充具有绝缘性和润滑性的液状体，在填充结束之前或者填充结束之后，对该液状体实施用于避免在该液状体与上述线性运动驱动器主体之间形成气泡的气泡除去，上述线性运动驱动器主体具有定子和能够相对于该定子在规定方向上往复动作的可动件。

6.一种线性运动驱动器单元的制造方法，该线性运动驱动器单元包括：线性运动驱动器主体，其具有定子和能够相对于该定子在规定方向上往复动作的可动件；壳体，其在固定了上述线性运动驱动器主体的一部分的状态下大致包围该线性运动驱动器主体的周围；液状体，其以浸渍上述线性运动驱动器主体所具有的线圈的状态填充到上述壳体的内部空间中，该液状体具有绝缘性和润滑性；其特征在于，

该线性运动驱动器单元的制造方法包括：

收容工序，将上述线性运动驱动器主体收容在上述壳体内；

填充工序，向收容有上述线性运动驱动器主体的上述壳体内填充上述液状体；

气泡除去工序，用于避免在上述线性运动驱动器主体和上述液状体之间形成气泡。

7.根据权利要求6所述的线性运动驱动器单元的制造方法，其特征在于，

上述定子还具有以使上述可动件能够往复动作的方式支承该可动件的可动支承部，上述液状体以浸渍上述可动支承部的状态填充到上述内部空间中，上述气泡除去工序避免在上述可动支承部和上述液状体之间形成气泡。

8.根据权利要求6或7所述的线性运动驱动器单元的制造方法，其特征在于，

气泡除去工序具有在直到完成上述填充工序为止的阶段中除去上述气泡的填充时脱气工序。

9.根据权利要求6至8中任一项所述的线性运动驱动器单元的制造方法，其特征在于，

气泡除去工序具有填充后脱气工序，在该填充后脱气工序中，使形成在经过上述填充工序填充的上述液状体和上述线性运动驱动器主体之间的上述气泡自上述线性运动驱动器主体脱离。