[发明专利]具有无限驱动介质的搬送系统、其搬运器的识别方法以及搬运器有效
| 申请号: | 200980158761.7 | 申请日: | 2009-06-02 |
| 公开(公告)号: | CN102405519A | 公开(公告)日: | 2012-04-04 |
| 发明(设计)人: | 木股友也 | 申请(专利权)人: | 村田机械株式会社 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
| 代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 庞乃媛;黄剑锋 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 具有 无限 驱动 介质 系统 搬运 识别 方法 以及 | ||
1.一种搬送系统,设置有:
无限驱动介质,进行环行动作;
多个搬运器,该搬运器被安装于所述无限驱动介质,保持并搬送物品,并且具有搬运器识别用的被识别部;以及
多个站,该多个站具有:机械手,与所述搬运器之间交接物品;以及
传感器,通过沿着无限驱动介质的环行方向在机械手的上游侧的规定位置检测所述被识别部,来输出搬运器的检测信号和搬运器的识别信号。
2.根据权利要求1记载的搬送系统,其中,
使所述搬运器的检测信号为用于开始所述机械手的交接动作的定时信号。
3.根据权利要求2记载的搬送系统,其中,
所述被识别部包括将搬运器安装在所述无限驱动介质上的安装部,为了识别搬运器,沿着所述无限驱动介质的环行方向,在搬运器间改变所述安装部的宽度。
4.根据权利要求3记载的搬送系统,其中,
所述安装部被安装于所述无限驱动介质的下端,在所述安装部的下侧,在与无限驱动介质的下端之间在高度方向上留有间隙,并设置有搬运器主体,
所述传感器在所述无限驱动介质的下端与搬运器主体的上部之间的高度位置,检测所述安装部。
5.根据权利要求1记载的搬送系统,其中,
对每规定个数的搬运器设置与其他搬运器的被识别部不同的被识别部,并且计数在检测出所述不同的被识别部之后检测出的被识别部的数目,从而识别搬运器。
6.一种搬送系统中的搬运器的识别方法,
在环行动作的无限驱动介质上,安装多个搬运器并使之环行,该搬运器保持并搬送物品,并且具有搬运器识别用的被识别部,
设置多个站,该站具有:机械手,与所述搬运器之间交接物品;以及,沿着无限驱动介质的环行方向在机械手的上游侧的规定位置检测所述被识别部的传感器,
根据所述传感器的信号,识别搬运器,并且识别搬运器在规定位置出现了的情况,使所述机械手相对于期望的搬运器动作。
7.一种搬运器,包括:
用于支撑物品的搬运器主体;以及,
向设置于该搬运器主体上部的无限驱动介质的安装部;
根据沿着所述无限驱动介质的运动方向的所述安装部的宽度而对搬运器识别自如。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于村田机械株式会社,未经村田机械株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200980158761.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:多面一体宽视野无盲区平面后视镜
- 下一篇:改进型多头数控雕刻机
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





