[发明专利]液晶阵列检查装置以及液晶阵列检查装置的信号处理方法

权利要求书

1.一种液晶阵列检查装置的信号处理方法，对液晶基板施加规定电压的检查信号来驱动阵列，检测对上述液晶基板照射电子射线而得到的二次电子，根据上述二次电子的检测强度来对液晶基板的阵列进行检查，该方法的特征在于，包括以下步骤：

灰度设定步骤，将正常驱动状态下的像素的检测强度设为正常值，将非驱动状态下的像素的检测强度设为基准值，从而设定像素的检测强度的灰度；

灰度值计算步骤，按照上述灰度来计算与从各像素检测出的检测强度相对应的灰度值；以及

缺陷判断步骤，通过将上述灰度值与阈值进行比较来进行缺陷判断，

其中，上述灰度设定步骤包括计算上述正常值的正常值计算步骤，

上述正常值计算步骤包括以下步骤：

计算包含所有像素的整个面板的平均值和标准偏差；

将各像素的检测强度与正常范围进行比较，该正常范围是根据上述平均值和上述标准偏差而确定的；

在各像素的检测强度处于上述正常范围内时，将通过对该像素附近的多个像素的检测强度进行移动平均处理后得到的计算值设为该像素的正常值；以及

在各像素的检测强度处于上述正常范围外时，将基于相邻的像素所算出的正常值设为该像素的正常值。

2.根据权利要求1所述的液晶阵列检查装置的信号处理方法，其特征在于，

在利用上述移动平均处理进行的正常值的计算中，在面板上设定的任意的区域中，求出该区域所包含的像素的检测强度的总和值，

对于上述区域内的各像素，将对上述总和值附加权重后得到的值加上该像素的检测强度后得到的值计算为该像素的正常值。

3.根据权利要求2所述的液晶阵列检查装置的信号处理方法，其特征在于，

在上述移动平均处理中，附加给上述总和值的权重为(m-1)/n，m是移动平均处理中使用的像素的个数，n是在上述总和值的计算中使用的像素的个数。

4.一种液晶阵列检查装置，对液晶基板施加规定电压的检查信号来驱动阵列，检测对上述液晶基板照射电子射线而得到的二次电子，根据上述二次电子的检测强度来对液晶基板的阵列进行检查，该液晶阵列检查装置的特征在于，

具备对上述检测强度进行信号处理的信号处理部，

上述信号处理部具备：

灰度设定部，其将正常驱动状态下的像素的检测强度设为正常值，将非驱动状态下的像素的检测强度设为基准值，从而设定像素的检测强度的灰度；

灰度值计算部，其根据上述灰度设定部中设定的灰度来计算与从各像素检测出的检测强度相对应的灰度值；以及

缺陷判断部，其通过将上述灰度值与阈值进行比较来进行缺陷判断，

其中，上述灰度设定部具有计算上述正常值的正常值计算部，

上述正常值计算部具备：

平均值运算部，其计算包含所有像素的整个面板的平均值；

标准偏差运算部，其计算包含所有像素的整个面板的标准偏差；

比较部，其将各像素的检测强度与正常范围进行比较，该正常范围是根据上述平均值和上述标准偏差而确定的；

正常值设定切换部，其根据上述比较部的比较结果来切换正常值的运算；以及

正常值运算部，其对正常值进行运算，

其中，正常值设定切换部根据上述比较部的比较结果，在各像素的检测强度处于上述正常范围内时，指示上述正常值运算对该像素附近的多个像素的检测强度进行移动平均处理，将该移动平均处理后得到的计算值设为该像素的正常值，在各像素的检测强度处于上述正常范围外时，将基于相邻的像素所算出的正常值设为该像素的正常值。

5.根据权利要求4所述的液晶阵列检查装置，其特征在于，

上述正常值运算部具备：

总和计算部，其求出面板上设定的任意的区域所包含的像素的检测强度的总和值；以及

移动平均运算部，其对于上述区域内的各像素计算将对上述总和值附加权重后得到的值加上该像素的检测强度后得到的值，从而算出检测强度的移动平均值。

6.根据权利要求5所述的液晶阵列检查装置，其特征在于，

在上述移动平均运算部中，附加给上述总和值的权重为(m-1)/n，m是移动平均处理中使用的像素的个数，n是在上述总和值的计算中使用的像素的个数。