[发明专利]用于引导辐射束的光学模块

权利要求书

1.一种用于引导辐射束的光学模块，

-具有至少一个反射镜(13，14；26，28)，所述至少一个反射镜(13，14；26，28)

--具有多个个体反射镜(27)，所述个体反射镜(27)的反射面(34)彼此互补以形成总反射镜反射面，

--具有支承结构(36)，所述支承结构(36)各自通过导热部(37)机械地连接到各个体反射镜(27)的反射镜本体(35)，

--其中，所述反射镜本体(35)中的至少一些具有用于实现反射镜本体(35)相对于所述支承结构(36)在至少一个自由度上的预定位移的关联的致动器(50)，

--其中，集成电子位移电路(103)与空间上邻近的、可发生位移的个体反射镜(27)的每一个相关联，

-具有中央控制装置(153)，所述中央控制装置(153)具有与所述可发生位移的个体反射镜(27)的所述集成电子位移电路(103)的信号连接(151，152，120)。

2.如权利要求1所述的光学模块，其特征在于，所述集成电子位移电路(103)实施成使得它们能够被级联。

3.如权利要求1或2所述的光学模块，其特征在于，所述集成电子位移电路(103)容纳在位移激励电路板(100)中，所述位移激励电路板(100)布置在个体反射镜(27)的相反于反射面(34)的一侧。

4.如权利要求1至3中任一项所述的光学模块，其特征在于，各自与可发生位移的个体反射镜(27)之一相关联的所述致动器(50)构造成洛伦兹致动器，所述洛伦兹致动器(50)的集成电子位移电路(103)通过保护性的超低电压来激励。

5.如权利要求1至4中任一项所述的光学模块，其特征在于，用于激励所述集成电子位移电路(103)的控制线(111、112)引导成平行于地线(115a)，所述各控制线(111、112)之一布置成与地线(154a)之一直接相邻。

6.如权利要求4或5所述的光学模块，其特征在于，邻近于集成电子供电电路(103)的每一个布置多个个体线圈(106至109)，所述多个个体线圈是洛伦兹致动器(50)的一部分，所述集成电子位移电路(103)具有与这些个体线圈(106至109)的信号连接。

7.如权利要求3至6中任一项所述的光学模块，其特征在于，所述位移激励电路板(100)具有多层构造，导电层(127，129，131，133；148)通过绝缘层(128，130，132；147)而彼此分隔。

8.如权利要求3至7中任一项所述的光学模块，其特征在于，所述位移激励电路板(100)的基板层(101)由陶瓷和/或硅材料制成。

9.如权利要求3至8中任一项所述的光学模块，其特征在于，在所述位移激励电路板(100)的相反于个体反射镜(27)的一侧具有散热器(99)。

10.如权利要求3至9中任一项所述的光学模块，其特征在于，具有多个散热指状件(144)，所述散热指状件(144)从所述散热器(99)引出并穿过所述位移激励电路板(100)进入所述个体线圈(106至109)或所述集成电子位移电路(103)的区域。

11.如权利要求4至10中任一项所述的光学模块，其特征在于，所述洛伦兹致动器(50)具有永磁体(44)。

12.如权利要求1至11中任一项所述的光学模块，其特征在于，每个集成电子位移电路(103)与一组个体反射镜(27)相关联。

13.如权利要求1至12中任一项所述的光学模块，其特征在于，所述光学模块被划分成多个局部个体阵列(150)，所述局部个体阵列(150)各自由按行和按列布置的个体反射镜(27)构成。