[发明专利]蓝宝石单晶的制造方法

权利要求书

1.一种蓝宝石单晶的制造方法，其特征在于，具有：

熔融工序，该工序使置于室内的坩埚中的氧化铝熔融，得到该氧化铝的熔液；和

生长工序，该工序向所述室内供给含有氧和惰性气体并且该氧的浓度被设定为0.6体积％以上且3.0体积％以下的混合气体，并且从所述熔液提拉蓝宝石单晶使其生长。

2.根据权利要求1所述的蓝宝石单晶的制造方法，其特征在于，在所述生长工序中，使所述蓝宝石单晶沿c轴方向生长。

3.根据权利要求1所述的蓝宝石单晶的制造方法，其特征在于，在所述生长工序中，所述混合气体中的所述氧的浓度被设定为1.5体积％以上且3.0体积％以下。

4.一种蓝宝石单晶的制造方法，其特征在于，包括：

肩部形成工序，该工序使蓝宝石单晶的晶种与置于室内的坩埚中的氧化铝熔液接触，一边使该晶种旋转一边进行提拉，由此形成朝向该晶种的下方扩展的肩部；和

直体部形成工序，该工序通过一边使与所述熔液接触的所述肩部旋转一边进行提拉，从而在该肩部的下方形成直体部，

在所述直体部形成工序中，向所述室内供给含有氧和惰性气体并且该氧的浓度被设定为0.6体积％以上且3.0体积％以下的混合气体。

5.根据权利要求4所述的蓝宝石单晶的制造方法，其特征在于，在所述肩部形成工序和所述直体部形成工序中，使所述蓝宝石单晶沿c轴方向生长。

6.根据权利要求4所述的蓝宝石单晶的制造方法，其特征在于，在所述肩部形成工序中，向所述室内供给所述氧的浓度被设定为0.6体积％以上且3.0体积％以下的混合气体。

7.一种蓝宝石单晶的制造方法，其特征在于，在含有氧和惰性气体并且该氧的浓度为0.6体积％以上且3.0体积％以下的气氛中从在坩埚中熔融了的氧化铝的熔液提拉蓝宝石单晶。

8.根据权利要求7所述的蓝宝石单晶的制造方法，其特征在于，在氮气氛中使坩埚中的氧化铝熔融。

9.根据权利要求7所述的蓝宝石单晶的制造方法，其特征在于，使所述蓝宝石单晶沿c轴方向生长。