[发明专利]有机EL显示器的反射阳极电极及布线膜

说明书

技术领域

本发明涉及一种在有机EL显示器(特别是顶部发射型)中使用的反射阳极电极及布线膜、薄膜晶体管基板、还有溅射靶。

背景技术

作为自发光型平板显示器之一的有机电致发光(以下有时简称为“有机EL”)显示器，是在玻璃板等基板上以矩阵状排列有机EL元件而形成的全固体型的平板显示器。在有机EL显示器中，阳极(anode)和阴极(cathode)形成条纹状，它们彼此交叉的部分相当于像素(有机EL元件)。从外部对该有机EL元件施加数V的电压，流过电流，由此提升有机分子为激励状态，当其向原来的基态(稳定状态)恢复时，其多余的能量以光的形式释放。该发光颜色是有机材料所固有的。

有机EL元件是自己发光型及电流驱动型的元件，其驱动型有无源矩阵型和有源矩阵型。无源矩阵型结构简单，不过很难全色化。另一方面，有源矩阵型能够大型化，也适于全色化，却需要TFT基板。该TFT基板使用低温多结晶Si(p-Si)或非晶形Si(a-Si)等的TFT。

采用有源矩阵型的有机EL显示器时，多个TFT、布线等形成阻碍，使能够用于有机EL像素的面积变小。若驱动电路变得复杂，TFT增加，则其影响变大。近年来，通过形成为不是从玻璃基板取出光而是从上面侧取出光的结构(顶部发射方式)来改善数值孔径的方法倍受瞩目。

在顶部发射方式中，下面的阳极使用的是空穴注入性优异的氧化铟锡(ITO：Indium Tin Oxide)。另外，上面的阴极也需要使用透明导电膜，但ITO的功函数大，不适于电子注入。再有，ITO是用喷溅法、离子束蒸镀法等成膜的，从而，成膜时的等离子体离子、二次电子会导致电子输送层(构成有机EL元件的有机材料)受损。为此，通过在电子输送层上形成薄的Mg层、铜酞菁层等，来改善电子注入和避免损伤。

在这种有源矩阵型的顶部发射有机EL显示器中使用的阳极电极，兼有对有机EL元件放射的光进行反射的目的，形成以上述的ITO、氧化铟锌(IZO：Indium Zinc Oxide)等为代表的透明氧化物导电膜和反射膜的层叠结构。在此使用的反射膜多使用钼、铬、铝系(专利文献1)或银系(专利文献2)等反射性高的金属膜。

还有，本申请人迄今为止提出了用于液晶显示器的Ag合金(专利文献3)和用于液晶显示器的Ag合金(专利文献4)。

专利文献1：日本国特开2005-259695号公报

专利文献2：日本国特开2006-310317号公报

专利文献3：日本国特开2005-187937号公报

专利文献4：日本国特开2002-323611号公报

然而，具有高反射率的纯Ag、Ag合金等，即使低温加热，原子也容易移动，特别是在湿润气氛中更容易凝集。由于它们加热就容易凝集，所以需要在Ag薄膜的上下设置保护膜。即使在设置保护膜的情况下，发现有很多情况是以膜缺陷等为起点而容易发生变质(白点化、白浊化)。若有机电致发光元件中发生这些现象，则发光亮度变得不均匀，成为图像斑。再有，由于有机电致发光元件中作为发光层的有机层非常薄，因而若下部膜的表面平滑性差，则会在有机层上发生针孔。如果发生Ag薄膜的凝集，还会发生更多的针孔。该针孔会导致一种被称为黑点的器件特性不良。如此，特别是在有机电致发光显示器中采用纯Ag、Ag合金等的情况下，在器件的制造工序和器件的特性方面存在很多课题。

例如，上述专利文献2中，作为有机EL显示器用途的反射膜，公开有Ag-Sm合金、Ag-Tb合金等，不过，这些合金并不足以用来防止Ag薄膜的凝集。

另一方面，上述专利文献3～4中，作为液晶显示装置的反射膜，公开有Ag-Nd合金、Ag-Bi合金等。不过，就所谓用于有机EL显示器的特殊状况而言，尚没有对所谓不会发生上述Ag薄膜的白点化、白浊化及有机EL器件的针孔、黑点等问题的验证。

另外，如上所述，纯Ag(或Ag基合金)具有即使低温加热(例如200～400℃)Ag原子也容易移动、容易凝集的性质。因此，并不限于反射膜的用途，在用作布线膜时，也存在如下问题，即由于Ag的凝集而造成膜的表面变化大，布线膜的电阻率上升，最差的情况是发生布线的短路、断线等。

发明内容

鉴于该课题，本发明的目的在于，提供通过对难以发生加热所致的Ag原子凝集的组成的Ag基合金进行确定来抑制加热引起的反射率降低的反射膜和抑制电阻率增大的布线膜。