[发明专利]有机EL显示器的反射阳极电极及布线膜

权利要求书

1.一种用于有机EL显示器的反射阳极电极，是在基板上形成的用于有机EL显示器的反射阳极电极，其特征在于，

包括：含有0.01～1.5原子％Nd的Ag基合金膜和与所述Ag基合金膜直接接触的氧化物导电膜。

2.根据权利要求1所述的用于有机EL显示器的反射阳极电极，其特征在于，

Nd的含量是0.1～1.5原子％。

3.根据权利要求1或2所述的用于有机EL显示器的反射阳极电极，其特征在于，

所述Ag基合金膜还含有从Cu、Au、Pd、Bi、Ge中选择的1种以上元素总计0.01～1.5原子％。

4.一种用于有机EL显示器的反射阳极电极，是在基板上形成的用于有机EL显示器的反射阳极电极，其特征在于，

包括：含有0.01～4原子％Bi的Ag基合金膜和与所述Ag基合金膜直接接触的氧化物导电膜。

5.根据权利要求4所述的用于有机EL显示器的反射阳极电极，其特征在于，

所述Ag基合金膜还含有从Cu、Au、Pd、Ge中选择的1种以上元素总计0.01～1.5原子％。

6.根据权利要求4或5所述的用于有机EL显示器的反射阳极电极，其特征在于，

所述Ag基合金膜的表面组成为Bi₂O₃。

7.根据权利要求4或5所述的反射阳极电极，其特征在于，

所述Ag基合金膜还含有从稀土类元素选择的1种以上总计0.01～2原子％。

8.根据权利要求4或5所述的反射阳极电极，其特征在于，

所述Ag基合金膜还含有Nd及/或Y总计0.01～2原子％。

9.根据权利要求4或5所述的反射阳极电极，其特征在于，

所述Ag基合金膜还含有从由Au、Cu、Pt、Pd及Rh组成的组中选择的1种以上元素总计3原子％以下，且不包括0原子％。

10.根据权利要求1或4所述的反射阳极电极，其特征在于，

所述Ag基合金膜表面的十点平均粗糙度Rz为20nm以下。

11.根据权利要求1或4所述的反射阳极电极，其特征在于，

所述Ag基合金膜利用溅射法或真空蒸镀法形成。

12.一种薄膜晶体管基板，具备权利要求1或4所述的反射阳极电极，所述Ag基合金膜与在所述基板上形成的薄膜晶体管的源/漏电极电连接。

13.一种有机EL显示器，具备权利要求12所述的薄膜晶体管基板。

14.一种溅射靶，用于形成权利要求1或4所述的反射阳极电极。

15.一种用于有机EL显示器的布线膜，是在基板上形成的用于有机EL显示器的布线膜，其特征在于，

至少包括含有0.01～1.5原子％Nd的Ag基合金膜。

16.根据权利要求15所述的布线膜，其特征在于，

Nd的含量为0.1～1.5原子％。

17.根据权利要求15或16所述的布线膜，其特征在于，

所述Ag基合金膜还含有从Cu、Au、Pd、Bi、Ge中选择的1种以上元素总计0.01～1.5原子％。

18.一种用于有机EL显示器的布线膜，是在基板上形成的用于有机EL显示器的布线膜，其特征在于，

至少包括含有0.01～4原子％Bi的Ag基合金膜。

19.根据权利要求18所述的布线膜，其特征在于，

所述Ag基合金膜还含有从Cu、Au、Pd、Ge中选择的1种以上元素总计0.01～1.5原子％。

20.一种溅射靶，用于形成权利要求15或18所述的布线膜。