[发明专利]废气处理方法及处理装置有效
| 申请号： | 200980134671.4 | 申请日： | 2009-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN102143794A | 公开（公告）日： | 2011-08-03 |
| 发明（设计）人： | 川端宏文 | 申请（专利权）人： | 大阳日酸株式会社 |
| 主分类号： | B01D53/68 | 分类号： | B01D53/68;B01D53/46;B01D53/77;F23G7/06;F23J15/02 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 陈万青;王珍仙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 废气 处理 方法 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种废气处理方法，是将来自半导体制造装置的废气导入到燃烧式除害装置，接着送到集尘装置，进而送入两段结构的气体洗净装置的处理方法，
所述两段结构的气体洗净装置由第一段气体洗净装置和第二段气体洗净装置构成，在第一段气体洗净装置中，以水作为洗净液进行气体洗净，接着，在第二段气体洗净装置中，以碱性水溶液作为洗净液进行气体洗净。
2.一种废气处理装置，具备：将来自半导体制造装置的废气燃烧而除去有害物质的燃烧式除害装置；将来自该燃烧式除害装置的废气中的固体成分除去的集尘装置；以及对来自该集尘装置的废气进行洗净的两段结构的气体洗净装置，
所述两段结构的气体洗净装置由洗净液为水的第一段气体洗净装置和洗净液为碱性水溶液的第二段气体洗净装置构成。
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