[发明专利]静电卡盘的使用极限判别方法

权利要求书

1.一种静电卡盘的使用极限判别方法，该静电卡盘具有第1电极、第2电极以及由包覆这些电极的电介质构成的包覆层，通过对第1和第2两电极间施加电压，来对载置于包覆层的表面的处理基板进行吸附，其特征在于，

在处理基板的吸附时对在第1和第2两电极间流动的电流值进行检测，并当检测出的电流值在规定的阈值以上时，判别静电卡盘达到使用极限，

所述阈值按照与静电卡盘接触的基板背面的电阻值呈不同的各种处理基板的每一种而被设定为不同的值。

2.根据权利要求1所述的静电卡盘的使用极限判别方法，其特征在于，

所述电流值是在处理基板的吸附后，且对处理基板开始进行处理之前所检测出的电流值。