[发明专利]器件成形用部件、制造器件的方法和器件

权利要求书

1.一种用于使器件成形的器件成形用部件，所述器件成形用部件包含：

实施成形的一对模具；

以包围所述一对模具的外周面的方式设置的中空体；和

框架模具，其在所述一对模具之间，用于调节构成所述器件的材料的位置；其中

在构成所述中空体的至少一部分内周面的区域内形成凹部，所述中空体的内周面面对所述一对模具的外周面。

2.如权利要求1所述的器件成形用部件，其中与所述一对模具、所述中空体和所述框架模具的纵轴方向交叉的横断面的外形为圆形。

3.如权利要求2所述的器件成形用部件，其中在由所述中空体和所述一对模具的横断面形成的圆形的径向上所述一对模具配合到所述凹部中所经过的距离L(mm)满足方程：

L＝R_m-√(R_m²-D²)-{R_s-√(R_s²-D²)}≤0.001

其中2D(mm)为在与所述一对模具的纵轴方向交叉的方向上延伸的凹部的宽度，

R_m(mm)为所述一对模具的从由所述一对模具的横断面形成的圆形的中心到所述一对模具的外周面的半径，

R_s(mm)为所述中空体的从由所述中空体的横断面形成的圆形的中心到所述中空体的内周面的半径。

4.如权利要求2或3所述的器件成形用部件，其中满足下列关系：

α₁＜α₂

α₁＜α₃

0.030≥(α₁D_i-α₂D_p)ΔT+(D_i-D_p)≥0.005

0.150≥(α₁D_i-α₃D_r)ΔT+(D_i-D_r)≥0.015

其中T(℃)为对所述材料进行成形时的烧结温度，

D_i(mm)为由与所述中空体的纵轴方向交叉的横断面形成的圆形的内径，

D_p(mm)为由与所述一对模具的纵轴方向交叉的横断面形成的圆形的外径，

D_r(mm)为由与所述框架模具的纵轴方向交叉的横断面形成的圆形的外径，

α₁(/℃)为所述中空体从室温到T(℃)的平均热膨胀系数，将所述材料在所述室温下设置在所述一对模具之间，

α₂(/℃)为所述一对模具从室温到T(℃)的平均热膨胀系数，

α₃(/℃)为所述框架模具从室温到T(℃)的平均热膨胀系数，

ΔT(℃)为烧结温度T(℃)与室温之差。

5.如权利要求1～4中任一项所述的器件成形用部件，其中所述凹部在与所述中空体的纵轴方向一致的方向上延伸。

6.如权利要求1～4中任一项所述的器件成形用部件，其中所述凹部在与所述中空体的纵轴方向交叉的方向上延伸。

7.如权利要求1～4中任一项所述的器件成形用部件，其中设置所述凹部，使得所述中空体的内周面成螺旋形。

8.如权利要求1～7中任一项所述的器件成形用部件，其中在所述中空体的内周面中形成多个凹部。

9.如权利要求8所述的器件成形用部件，其中所形成的多个凹部在所述中空体的内周面的圆周方向上以等距的方式设置。

10.如权利要求1～9中任一项所述的器件成形用部件，其中所述中空体包含至少90质量％以上的热膨胀系数为1.0×10^-7(/℃)以上至3.5×10^-6(/℃)以下的材料。

11.如权利要求1～10中任一项所述的器件成形用部件，其中所述中空体包含至少90质量％以上的石英玻璃。