[发明专利]物品输送机器人装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于将半导体晶片等物品输送移载到目的位置的物品输送机器人装置。

背景技术

在半导体晶片的制造设备中设置有半导体晶片的输送机器人装置，用于在净化室内从将半导体晶片从基站取出并进行保持，向与下一制造工序相对应的目的站输送移载。这种半导体晶片输送机器人装置的大致结构示于图8。

图8所示的半导体晶片输送机器人装置100具有：水平底座101；垂直支柱102，沿着水平方向移动自如地支撑在上述水平底座101上；机器人主体103，上下升降自如地支撑在上述垂直支柱102上，用于输送半导体晶片；以及配线/配管束104，遍布上述水平底座101以及垂直支柱102内地装配，用于上述机器人主体103及其关联机构部的工作以及控制。

机器人主体103包括：机器人基座103a，上下升降自如地支撑在垂直支柱102上；多个(在本例中为两个)机器人臂103b、103c，相对于该机器人基座103a水平旋转自如地连接；以及机器人手103d，与前端侧的机器人臂103c相连。

这样，通过垂直支柱102相对于水平底座101在水平方向上移动自如的支撑关系，机器人基座103a相对于垂直支柱102上下升降自如的支撑关系，以及多个机器人臂103b、103c及机器人手103d相对于机器人基座103a的水平旋转自如的连接关系，能够使保持在前端的机器人手103d上的半导体晶片(未图示)三维移动而向目的位置输送以及移载。

而且，上述用于工作及控制的配线/配管束104由供电缆线，压送空气或者真空配管，以及传感器等控制信号线构成，所述供电缆线向用于上述垂直支柱102的水平移动，机器人基座103a的上下升降以及各机机器人臂103b、103c及机器人手103d的水平旋转的马达等各驱动机构部供电。

这种配线/配管束104插入由水平固定在水平底座101上的刚性管构成的底座侧保护筒105内，经过弯曲自如的缆线支架(注册商标)106内导入垂直支柱102侧部的内部，均分地与各机构部等相连。在图8中，为了方便而以假想线示出了缆线支架106。作为这种缆线支架106，例如采用在日本专利特开2003-37153号公报中记载的缆线支架。

在图8所示结构的机器人装置100的情况下，在垂直支柱102沿着水平底座101水平移动之际，配线/配管束104以插入缆线支架106内的状态支撑，一边保持反转了180°的状态一边在水平底座101上随动于垂直支柱102的活动。

在以这样大角度弯曲的弯曲部中，由于大的应力作用在配线/配管束104上，配线/配管束104的疲劳损耗或与缆线支架106的相互摩擦而成为被称为微粒的尘埃发生的原因，所以要加大弯曲部的曲率半径R。因此，在垂直支柱102处于待机位置(图8中的实线位置)的情况下的弯曲部向装置一侧的突出量D增大，成为实现装置紧凑化的障碍。

而且，在图8中，当使实线位置与双点划线位置之间(距离L)为垂直支柱102的最大移动范围时，由于配线/配管束104的弯曲部以反转了180°的状态移动，所以伴随着弯曲部上的弯曲的可动范围(待机位置的弯曲开始点与最大移动位置的弯曲开始点之间的直线部分)Lm等于1/2L(Lm＝1/2L)。因此，包括该可动范围Lm在内，要确保增大应由缆线支架106支撑的弯曲部的范围，而这也将增加尘埃等的产生原因。

另外，由于弯曲部的弯曲角度大，所以缆线支架106自身也容易因其构成部件彼此之间的相互摩擦而产生尘埃。特别是，在半导体晶片的制造设备中，由于这种尘埃的产生将对制品的品质带来大的影响，所以进而还进行通过其他的罩覆盖缆线支架106部分的处置，从而制造设备的大型化不可避免。

发明内容

本发明的目的在于提供一种适于半导体晶片等物品的输送的物品输送机器人装置，能够实现装置整体的紧凑化，同时能够减小相对于配线以及/或者配管的应力。

为了解决上述问题，本发明的物品输送机器人装置的特征在于，具备：水平底座；水平移动体，在水平方向上移动自如地支撑在上述水平底座上；机器人主体，支撑在上述水平移动体上，用于物品输送；配线及配管的至少一方，从上述水平底座导向上述机器人主体；以及约束体，绕设在上述水平移动体上的支点部摆动自如地支撑，限制上述配线及配管的至少一方的一部分的变形。

优选地是，上述水平移动体包括垂直支柱，上述机器人主体升降自如地支撑在上述垂直支柱上，上述约束体包括以上述垂直支柱的上端部作为上述支点支摆动自如地支撑的支柱侧保护筒。