[发明专利]物品输送机器人装置

权利要求书

1.一种物品输送机器人装置，其特征在于，具备：

水平底座；

水平移动体，在水平方向上移动自如地支撑在上述水平底座上；

机器人主体，支撑在上述水平移动体上，用于物品输送；

配线及配管的至少一方，从上述水平底座导向上述机器人主体；

约束体，绕设在上述水平移动体上的支点部摆动自如地支撑，限制上述配线及配管的至少一方的一部分的变形。

2.如权利要求1所述的物品输送机器人装置，其特征在于，

上述水平移动体包括垂直支柱，

上述机器人主体升降自如地支撑在上述垂直支柱上，

上述约束体包括以上述垂直支柱的上端部作为上述支点支摆动自如地支撑的支柱侧保护筒。

3.如权利要求2所述的物品输送机器人装置，其特征在于，

还包括固定在上述水平底座上的底座侧保护筒，

上述配线及配管的至少一方从上述底座侧保护筒内经过上述支柱侧保护筒内以及上述支点部导入上述垂直支柱内。

4.如权利要求3所述的物品输送机器人装置，其特征在于，

在上述底座侧保护筒以及上述支柱侧保护筒之间连接有上述配线及配管的至少一方插入其中的挠性软管。

5.如权利要求4所述的物品输送机器人装置，其特征在于，

在上述挠性软管内涂敷有滑动剂。

6.如权利要求1～5中任一项所述的物品输送机器人装置，其特征在于，

上述支点部由圆筒部件，径向轴承，以及支撑用环状部件构成，所述圆筒部件以其轴心大致水平的方式设在开设于所述水平移动体的侧部的配线等导入口部中，所述径向轴承外嵌在上述圆筒部件上，所述支撑用环状部件外嵌在上述径向轴承的外圈上，

上述约束体固定支撑在上述支撑用环状部件上。

7.如权利要求6所述的物品输送机器人装置，其特征在于，

在上述水平移动体和上述约束体的连接部分上设有防止微粒的排出的密封材料。

8.如权利要求1～7中任一项所述的物品输送机器人装置，其特征在于，

上述物品是半导体晶片。