[发明专利]控制装置以及控制方法

权利要求书

1.一种控制装置，对基板处理装置中的运送装置的交接位置的调整进行控制，所述基板处理装置包括对基板进行预定的处理的多个处理单元以及能够进行驱动以保持并运送所述基板来向所述各个处理单元进行交接的运送单元，

所述控制装置包括：

存储单元，存储表示从所述各个处理单元中选择的一个基准处理单元和其他非基准处理单元的相对位置的第一信息；

第一计算单元，计算用于修正位置偏移的第一修正值，所述位置偏移是当在被所述运送装置中保持模仿所述基板的样板的状态下驱动该运送装置、所述运送装置的所述样板针对所述基准处理单元的交接位置和预定的第一交接目标位置之间的位置偏移；以及

第二计算单元，基于所述第一修正值和所述第一位置信息，计算用于修正所述运送装置的所述样板针对所述非基准处理单元的交接位置和预定的第二交接目标位置之间的位置偏移的第二修正值。

2.如权利要求1所述的控制装置，其中，

所述运送装置具有用于保持所述基板的多个臂，

所述存储单元存储表示所述各个臂间的相对位置的第二位置信息，

所述第一计算单元按照所述每个臂计算所述第一修正值，

所述第二计算单元基于关于所述各个臂的所述各个第一修正值、所述第一位置信息以及所述第二位置信息计算针对所述非基准处理单元的所述运送装置的各个臂的所述第二修正值。

3.如权利要求2所述的控制装置，其中，

还包括操作输入部，输入用于从所述各个处理单元中选择所述基准处理单元的第一用户操作以及用于改变所述被选择的基准处理单元的第二用户操作。

4.如权利要求1所述的控制装置，其中，

所述运送装置具有用于保持所述基板的多个臂，

所述存储单元存储表示所述各个臂间的相对位置的第二位置信息，

所述第一计算单元计算从所述多个臂选择的一个臂的所述第一修正值，并基于该一个臂的第一修正值和所述第二位置信息计算其他臂的所述第一修正值，

所述第二计算单元基于所述一个臂的第一修正值、所述第一位置信息以及所述第二位置信息，计算针对所述非基准处理单元的所述运送装置的各个臂的所述第二修正值。

5.如权利要求1所述的控制装置，其中，

在所述各个处理单元中，在与被保持在所述运送装置中的基板相对的位置设置目标，

所述第一位置信息表示所述基准处理单元中的目标和所述非基准处理单元中的目标的相对位置。

6.一种控制方法，对基板处理装置中的运送装置的交接位置的调整进行控制，所述基板处理装置包括对基板进行预定的处理的多个处理单元、以及能够进行驱动以保持并运送所述基板来向所述各个处理单元进行交接的运送单元，

所述控制方法包括：

存储表示从所述各个处理单元中选择的一个基准处理单元和其他非基准处理单元的相对位置的第一信息；

计算用于修正位置偏移的第一修正值，所述位置偏移是当在被所述运送装置中保持模仿所述基板的样板的状态下驱动该运送装置、所述运动装置的所述样板针对所述基准处理单元的交接位置和预定的第一交接目标位置之间的位置偏移；以及

基于所述第一修正值和所述第一位置信息，计算用于修正所述运送装置的所述样板针对所述非基准处理单元的交接位置和预定的第二交接目标位置之间的位置偏移的第二修正值。

7.如权利要求6所述的控制装置，其中，

在所述各个处理单元中，在与被保持在所述运送装置中的基板相对的位置设置目标，

所述第一位置信息表示所述基准处理单元中的目标和所述非基准处理单元中的目标的相对位置。