[发明专利]用于冷却涂有半导体的热玻璃片的系统和方法

说明书

发明背景

1.发明领域

本发明涉及用于冷却涂有半导体的热玻璃片的系统和方法。

2.背景技术

半导体设备如光电板先前已由在玻璃片底物上涂覆半导体材料而构造。参见美国专利：5016562 Madan等人；5248349 Foote等人；5372646 Foote等人；5470397 Foote等人；和5536333 Foote等人，所有的这些专利都公开了用于在这种涂覆时输送玻璃片的卧式辊子(horizontal roller)。

在进行与本发明相关的研究时，所记录的其它已有技术文献包括美国专利4545327 Campbell等人；4593644 Hanak；5288329 Nakamura等人；6013134 Chu等人；和6827788 Takahashi人以及美国公开的专利申请US2007/0137574。

发明概述

本发明的目的是提供一种用于冷却涂有半导体的热玻璃片的改进的系统。

在实施上述目的时，用于冷却涂有半导体的热玻璃片的本发明系统包括限定真空室的壳体，并且还包括用于输送刚涂有半导体材料的热玻璃片通过真空室的输送器。冷却站包括具有辐射热吸收元件的辐射热吸收器，该辐射热吸收元件以对立的关系彼此隔开，涂有半导体的玻璃片在辐射热吸收元件之间输送，以便辐射热吸收元件从其吸收辐射热来提供冷却。

在该系统的一个所公开的实施方案中，输送器具有支持涂有半导体的玻璃片的上部末端的上部支持物(upper support)，在穿过真空室和在辐射热吸收器的辐射热吸收元件之间输送时，涂有半导体的玻璃片以垂直的方向从上部支持物向下垂挂。这个实施方案的辐射热吸收器的辐射热吸收元件具有通常连续的平坦的热吸收表面，该热吸收表面垂直地延伸，且以隔开和平行的关系互相对立，并且，垂直地定向的涂有半导体的玻璃片在热吸收表面之间输送，以便进行冷却。

在该系统的另一个所公开的实施方案中，输送器包括在真空室内沿着壳体隔开的卧式辊子，用来穿过真空室和在辐射热吸收器的辐射热吸收元件之间水平地输送涂有半导体的玻璃片。这个实施方案的辐射热吸收器包括上部热吸收元件和下部热吸收元件，上部热吸收元件和下部热吸收元件都包括平坦的热吸收表面，且上部热吸收元件具有被隔开在输送器辊子上面的通常连续的向下地面向的热吸收表面，并且下部热吸收元件包括位于输送器辊子之间的隔开的部分，并且，隔开的部分具有向上地面向的热吸收表面部分，该热吸收表面部分被隔开在被输送的涂有半导体的玻璃片的下面。此外，下部热吸收部分如已公开的一样具有整体的单一的构造，该构造包括下部底座，它的隔开的部分在输送器辊子之间从下部底座向上凸出。

在两个实施方案中，辐射热吸收器可以是石墨或耐火材料，该耐火材料优选地是α态金刚砂。

更具体地，第一个实施方案公开了它的输送器，该输送器设置有支持涂有半导体的玻璃片的上部末端的上部支持物，在穿过真空室和在辐射热吸收器的辐射热吸收元件之间输送时，涂有半导体的玻璃片从上部支持物以垂直的方向向下地垂挂，且辐射热吸收器的辐射热吸收元件由耐火材料制得，并且具有通常连续的平坦的热吸收表面，该热吸收表面垂直地延伸，且以隔开和平行的关系互相对立，并且，垂直地定向的涂有半导体的玻璃片在热吸收表面之间输送，以便进行冷却。

同样，第二个实施方案如已公开的一样具有它的输送器，该输送器设置有在真空室内沿着壳体彼此隔开的卧式辊子，用来穿过真空室和在辐射热吸收器的辐射热吸收元件之间水平地输送涂有半导体的玻璃片，且该辐射热吸收器包括上部热吸收元件和下部热吸收元件，上部热吸收元件和下部热吸收元件都由耐火材料制得，且包括平坦的热吸收表面，并且更具体地，上部热吸收元件具有被隔开在输送器辊子上面的通常连续的向下地面向的热吸收表面，且下部热吸收元件包括位于输送器辊子之间的隔开的部分，并且，隔开的部分具有向上地面向的热吸收表面部分，该热吸收表面部分被隔开在被输送的涂有半导体的玻璃片的下面。另外，耐火材料的下部热吸收部分如已公开的一样具有整体的单一的构造，该构造包括下部耐火材料底座，它的耐火材料的隔开的部分在输送器辊子之间从下部耐火材料底座向上凸出。

本发明的另一个目的是提供一种用于冷却涂有半导体的热玻璃片的改进的方法。

在实施紧接的上述目的时，用于冷却涂有半导体的热玻璃片的本发明的方法是通过在真空室内将刚涂有半导体材料的热玻璃片输送到一对隔开的辐射热吸收元件之间而实施的，该辐射热吸收元件接收来自涂覆的玻璃片的辐射热，用来提供冷却。