[发明专利]模块式线性电动机电枢及具备该电枢的模块式线性电动机以及搬运装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种例如在使用于电气元件安装装置、半导体相关装置或机床等的各种工业机械的同时，适合于其直动机构驱动用的AC3相线性电动机电枢，尤其涉及一种使导线部及中性点处理部分离的模块式线性电动机电枢及具备该电枢的模块式线性电动机以及搬运装置。

背景技术

以往，公知有一种例如在使用于电气元件安装装置、半导体或液晶相关制造装置或机床等的各种工业机械的同时，适合于其直动机构驱动用，并且具备组合有多个模块的电枢的模块式线性电动机电枢及线性电动机(例如，参照专利文献1)。

专利文献1所记载的模块式线性电动机电枢至少由基端侧模块、中间模块、前端侧模块构成，通过组合上述多个模块，可提高安装等的操作性，并提高基于批量生产效果的生产效率。

专利文献1：日本国特开2001-275336号公报(说明书第5-7页，图1)

可是，由于现有的模块式线性电动机电枢未分离导线部和电枢，所以在与线性电动机的推力方向正交的方向上并联配置同一机种的模块式电枢时，从各个电枢端部分别引出两根导线，因此，存在接线处理、电缆处理等变得繁琐的问题。

而且，同样由于串联地对模块式电枢进行多个连接时接线处理也变得复杂，所以要求如下的结构，总之可根据需要使电枢数量可变，除可拆装的模块式电枢以外，导线部也能够自由地拆装。

而且，近年在以液晶、半导体制造领域为主的所有市场中，线性电动机大推力化的需求高涨，例如在对于线性电动机的所需推力每次进行新的设计的同时，在考虑到使推力变化的机种的门类时，门类数的增加会使线性电动机电枢的机种也增加。因此，在这种状况下，由于根据线性电动机的客户规格，除电枢的推力方向长度、电枢线圈的形状或数量以外，电枢导线的长度规格也不同，因此尤其是进行串联地对多个模块式电枢进行多个连接配置，或者并联地进行多个连接配置的组合时，需要准备相当多的产品门类，存在对产品成本、甚至对客户产品价格、交货期等产生影响的问题。

因此，市场需要保持使模块化电枢部在串联及并联中都进行多个连接以实现大推力规格，且产品成本低廉的模块式电枢。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而进行的，其目的在于提供一种模块式线性电动机电枢及具备该电枢的模块式线性电动机以及搬运装置，其在使线性电动机的模块式电枢结构中的导线部及中性点部分离的同时，在增大推力时不必根据客户规格改变电枢导线的长度规格，能够使模块化电枢部在串联及并联中都进行多个连接以实现大推力规格，同时廉价。

为了解决上述问题，本发明是如下构成的。

方案1的发明为一种模块式线性电动机电枢，是在推力方向上依次连接多个安装有由多个线圈群构成的m相(m为整数)的电枢绕组而成的电枢单元而构成的模块式线性电动机电枢，其特征在于，在所述各个电枢单元的一端及另一端上配备有连接所述电枢绕组的导线的连接用端子，在位于在所述推力方向上多个连接而成的电枢群的最前部的电枢单元上设置有连接该电枢绕组的导线的端子输出并用于从外部电源供电的导线部连接单元，同时在位于该电枢群的最后部的电枢单元上设置有用于对该电枢绕组的中性点进行接线处理的中性点单元。

方案2的发明的特征在于，在方案1所述的模块式线性电动机电枢中，所述各个电枢单元构成为，在朝向由磁性材料构成的电枢铁心的长度方向以等间距排列的多个齿上通过集中卷绕来缠绕所述电枢绕组，同时固定在电枢基座上而成的带铁心式电枢结构。

方案3的发明的特征在于，在方案1或2所述的模块式线性电动机电枢中，在连接于所述各个电枢单元的所述导线部连接单元及所述中性点单元上组装有辅助齿，以便抵消在所述电枢单元两端部的齿上产生的齿槽推力。

方案4的发明的特征在于，在方案3所述的模块式线性电动机电枢中，所述导线部连接单元内置有进行线性电动机的初始磁极的检测的磁极传感器部。

方案5的发明的特征在于，在方案1所述的模块式线性电动机电枢中，使所述电枢单元及所述导线部连接单元以及所述中性点单元为n个并联配置结构(n为2以上的整数)，所述导线部连接单元设置有：分配电路，对从外部电源向该导线部连接单元供给的电流进行n分割；及端子，与所述各电枢单元连接以便向各电枢单元供给由该分配电路分割的电流，所述中性点单元设置有对各个电枢单元的电枢绕组的终端部个别地进行连接的连接电路和端子。

方案6的发明的特征在于，在方案1或2所述的模块式线性电动机电枢中，所述各个电枢单元分割为多个电枢组块。