[实用新型]运动部件位置的真空信号引出装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及将真空环境内的信号引出到大气环境的设备，具体地说是一种运动部件位置的真空信号引出装置。

背景技术

目前，现有的真空信号引出装置可以分为两种，其中一种是将触点开关和接电线缆等器件直接置于真空环境中，接线端通过真空陶瓷封接等方式将电线引出。这种方式要求触点开关的外壳和机芯都要使用不锈钢金属材料，才能满足真空放气率和耐高温性等指标；而且采用这种方式一旦在使用过程中触点开关损坏的话，就必须要系统停机破坏真空方能取出更换，给操作带来较大不便。另一种真空信号引出装置采用光感方式，其结构原理是在一端的大气环境中布置一个光束发生装置，通过玻璃等透光材料媒介将光束引入真空环境，光束直线穿过真空和玻璃媒介被相对的位于另一端大气环境中的光感开关捕集并转换成电信号输出。这种方式的缺点是只能用于清洁的真空环境中，因为一旦玻璃等透光媒介被遮挡或污染，或是被其它光源干扰，光束线就不能有效穿过，从而就不会产生信号输出或是产生错误信号。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种运动部件位置的真空信号引出装置。该装置将机械触点放置在真空环境内，将光电开关放置在大气环境中，通过刚性传递将运动部件的位置信号从真空中引出，克服了上述两种现有方式的不足。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：

本实用新型包括直杆、波纹管、法兰、光电开关及竖直套管，其中波纹管及法兰依次套设在直杆上，波纹管的一端与直杆相连，另一端与法兰的一端连接，法兰的另一端与真空室密封连接；所述直杆位于法兰以下的部分插入真空室内、且底端设有与运动部件滚动摩擦的触点，直杆靠近顶端的位置上设有通光狭缝，所述光电开关安装在法兰上、位于直杆设有通光狭缝的两侧；在直杆位于真空室内部分的外部套设有与法兰相连的竖直套管，该竖直套管与直杆之间设有限制直杆径向平动自由度的导向铜套。

其中：在直杆的顶端设有维持装置静平衡并保持触点距运动部件相对高度位置的调节装置，该调节装置包括固定支板、调节螺栓及锁紧螺母，其中固定支板安装在直杆的顶端，调节螺栓螺纹连接在固定支板上，通过锁紧螺母锁死；所述光电开关与横支板的一端相连，横支板的另一端与竖支板的一端连接，竖支板的另一端安装在法兰上，通过横、竖支板可调整光电开关的位置；所述竖直套管的顶端与法兰相连，竖直套管与法兰之间设有套在直杆上的上导向铜套，竖直套管的底端通过弹性挡圈压紧有套在直杆上的下导向铜套；所述直杆的底端通过弹性圆柱销轴铰接有滚动轴承，该弹性圆柱销轴和滚动轴承共同构成触点与运动部件接触；所述直杆轴向运动的真空密封为波纹管动密封。

本实用新型的优点与积极效果为：

1.本实用新型通过刚性传递将机械触点信号(即运动部件的位置信号)从真空环境中引出，并通过光电开关发出的光束被遮挡或由通光狭缝透过转换成精确的光电信号输出，运动定位精确，信号响应及时。

2.本实用新型在金属的直杆顶端固定了带有螺纹连接调整螺栓的固定支板，通过调节螺栓阻碍直杆受大气压作用向下的运动趋势，维持装置的静平衡并保持触点距运动部件的相对高度位置。

3.本实用新型的光电开关通过横、竖支板安装在法兰上，通过对横、竖支板的调节可以调整光电开关的位置。

4.本实用新型在直杆上套设了上、下导向铜套，可以限制直杆的径向平动的自由度，保证直杆只能沿轴向方向运动。

5.本实用新型与运动部件的触点采用弹性圆柱销轴与滚动轴承配合的方式，滚动轴承可转动，使触点处的摩擦力保持为较小的滚动摩擦力。

6.本实用新型结构简单，使用方便。

附图说明

图1为本实用新型的主视图；

图2为图1的俯视图；

图3为图1的A-A剖视图；

图4为本实用新型的力学原理图；

其中：1为固定支板，2为直杆，3为波纹管，4为法兰，5为光电开关，6为横支板，7为第一固定螺钉，8为第二固定螺钉，9为固定螺母，10为竖支板，11为固定螺栓，12为锁紧螺母，13为调节螺栓，14为上导向铜套，15为第三固定螺钉，16为竖直套管，17为下导向铜套，18为弹性挡圈，19为弹性圆柱销轴，20为滚动轴承，21为运动部件，22为通光狭缝，23为沉头螺钉。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步详述。