[实用新型]运动部件位置的真空信号引出装置

权利要求书

1.一种运动部件位置的真空信号引出装置，其特征在于：包括直杆(2)、波纹管(3)、法兰(4)、光电开关(5)及竖直套管(16)，其中波纹管(3)及法兰(4)依次套设在直杆(2)上，波纹管(3)的一端与直杆(2)相连，另一端与法兰(4)的一端连接，法兰(4)的另一端与真空室密封连接；所述直杆(2)位于法兰(4)以下的部分插入真空室内、且底端设有与运动部件滚动摩擦的触点，直杆(2)靠近顶端的位置上设有通光狭缝(22)，所述光电开关(5)安装在法兰(4)上、位于直杆(2)设有通光狭缝(22)的两侧；在直杆(2)位于真空室内部分的外部套设有与法兰(4)相连的竖直套管(16)，该竖直套管(16)与直杆(2)之间设有限制直杆径向平动自由度的导向铜套。

2.按权利要求1所述运动部件位置的真空信号引出装置，其特征在于：在直杆(2)的顶端设有维持装置静平衡并保持触点距运动部件相对高度位置的调节装置，该调节装置包括固定支板(1)、调节螺栓(13)及锁紧螺母(12)，其中固定支板(1)安装在直杆(2)的顶端，调节螺栓(13)螺纹连接在固定支板(1)上，通过锁紧螺母(12)锁死。

3.按权利要求1所述运动部件位置的真空信号引出装置，其特征在于：所述光电开关(5)与横支板(6)的一端相连，横支板(6)的另一端与竖支板(10)的一端连接，竖支板(10)的另一端安装在法兰(4)上，通过横、竖支板(6、10)可调整光电开关(5)的位置。

4.按权利要求1所述运动部件位置的真空信号引出装置，其特征在于：所述竖直套管(16)的顶端与法兰(4)相连，竖直套管(16)与法兰(4)之间设有套在直杆(2)上的上导向铜套(14)，竖直套管(16)的底端通过弹性挡圈(18)压紧有套在直杆(2)上的下导向铜套(17)。

5.按权利要求1所述运动部件位置的真空信号引出装置，其特征在于：所述直杆(2)的底端通过弹性圆柱销轴(19)铰接有滚动轴承(20)，该弹性圆柱销轴(19)和滚动轴承(20)共同构成触点与运动部件接触。

6.按权利要求1所述运动部件位置的真空信号引出装置，其特征在于：所述直杆(2)轴向运动的真空密封为波纹管动密封。