[实用新型]用于多晶炉的二次加料装置

权利要求书

1.一种用于多晶炉的二次加料装置，用于对多晶炉内的石英坩埚进行多次加料，其特征在于：所述的二次加料装置具有进气件总成(1)、连接管总成(2)及加料漏斗总成(3)，

所述的进气件总成(1)具有可固定在多晶炉(5)上的法兰盖(1-2)以及与石英坩埚相通的进料管(1-3)，

所述的连接管总成(2)具有连接管(2-1)，连接管(2-1)的下端通过下截止阀(2-2)与进气件总成(1)的进料管(1-3)连接，下截止阀(2-2)调节连接管(2-1)与进料管(1-3)之间的止断或连通，

所述的加料漏斗总成(3)具有基座(3-1)、固定在基座(3-1)上的漏斗(3-2)以及盖在漏斗(3-2)上的上盖(3-3)，加料漏斗总成(3)设置在多晶炉(5)的高处，连接管(2-1)的上端通过上截止阀与漏斗(3-2)连接，上截止阀调节漏斗(3-2)与连接管(2-1)之间的止断或连通。

2.根据权利要求1所述的用于多晶炉的二次加料装置，其特征在于：所述的连接管总成(2)具有石英内管(2-4)，石英内管(2-4)置于进料管(1-3)内，石英内管(2-4)的尾段具有一定的弯曲角度。

3.根据权利要求1所述的用于多晶炉的二次加料装置，其特征在于：所述的连接管(2-1)和漏斗(3-2)为不锈钢体，连接管(2-1)的内表面与漏斗(3-2)的内表面均涂有特氟龙处理层。

4.根据权利要求1所述的用于多晶炉的二次加料装置，其特征在于：所述的加料漏斗总成(3)的上盖(3-3)内表面具有一层密封垫。

5.根据权利要求1所述的用于多晶炉的二次加料装置，其特征在于：所述的二次加料装置具有支撑推车总成(4)，支撑推车总成(4)包括推车(4-1)、龙门吊架(4-2)和可上下升降的微型吊车(4-3)，微型吊车(4-3)与龙门吊架(4-2)活动连接，微型吊车(4-3)在龙门吊架(4-2)上水平移动，所述的加料漏斗总成(3)放置在推车(4-1)顶上，微型吊车(4-3)吊起上盖(3-3)使上盖(3-3)上下升降运动。

6.根据权利要求1所述的用于多晶炉的二次加料装置，其特征在于：所述的进气件总成(1)具有设置在法兰盖(1-2)上的观察窗(1-5)、石英棒插口以及与观察窗(1-5)连通的抽真空接头。