[实用新型]用于测量大直径单晶的检测台有效
| 申请号: | 200920277825.2 | 申请日: | 2009-11-26 |
| 公开(公告)号: | CN201569388U | 公开(公告)日: | 2010-09-01 |
| 发明(设计)人: | 石宇;李惠;曹孜 | 申请(专利权)人: | 北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号: | G01B5/00 | 分类号: | G01B5/00;G01B11/00 |
| 代理公司: | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人: | 郭佩兰 |
| 地址: | 100088*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 测量 直径 检测 | ||
1.一种用于测量大直径单晶的检测台,其特征在于:它包括:台架,台架的台面中部有一弧形凹槽,台架的一侧设有驱动轮,驱动轮通过链条连接链轮,链轮上装有支撑单晶的拖辊,链条上设有张紧轮,台架的底部装有万向轮,台架的上方装有照明装置。
2.根据权利要求1所述的一种用于测量大直径单晶的检测台,其特征在于:驱动轮的端部装有摇把。
3.根据权利要求1所述的一种用于测量大直径单晶的检测台,其特征在于:台面的材料为聚氨酯材料做成的。
4.根据权利要求1所述的一种用于测量大直径单晶的检测台,其特征在于:所述的万向轮为4个。
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