[实用新型]用于测量大直径单晶的检测台

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于检测半导体级硅单晶体的工具。特别是一种用于测量大直径单晶的检测台。

随着半导体硅单晶事业的不断发展，用切克劳斯基(Czochralski)法制造的硅单晶尺寸越来越大，这样才能适应市场的需求，满足客户的要求。

单晶在给客户之前，要对单晶进行一系列的参数检测，而尺寸大则单晶重量也较大。检测人员在进行检测时要对单晶要进行直径测量，端面直径测量，等径直径测量，端面及单晶体崩边，裂纹，针孔的检测，因此单晶要来回搬动，翻滚，进行全方位的观测。因此单晶要来回滚动检测，而上百公斤重的单晶靠工人滚动很费力，且单晶容易造成磕碰，对产品的成品率有影响。

本实用新型的目的是提供一种用于测量大直径单晶的检测台，使用本设备可提高工作效率，更加准确的检测单晶。

为达到上述的发明目的，本实用新型采用以下技术方案：

这种用于测量大直径单晶的检测台，它包括：台架，台架的台面中部有一弧形凹槽，台架的一侧设有驱动轮，驱动轮通过链条连接链轮，链轮上装有支撑单晶的拖辊，链条上设有张紧轮，台架的底部装有万向轮，台架的上方装有照明装置。

拖辊用的是聚氨酯，聚氨酯(简称PU)是由多异氰酸酯和聚醚多元醇或聚酯多元醇或/及小分子多元醇、多元胺或水等扩链剂或交联剂等原料制成的聚合物。聚氨酯弹性体可在较宽的硬度范围具有较高的弹性及强度、优异的耐磨性、耐油性、耐疲劳性及抗震动性，具有“耐磨橡胶”之称。

本实用新型的优点是：单晶放置在检测台上，靠拖辊支撑，并可通过拖辊滚动单晶，使单晶不用检测人员在地面上滚动，减少了单晶的磕碰，减轻了操作人员的体力工作。通过上方的光照，可以很清楚的观察到单晶的滑移和位错。使用本设备可提高工作效率，更加准确的检测单晶。

附图说明

图1：本实用新型的结构示意图

图2：本实用新型的结构示意图的侧视图

图3：图2中A-A剖面图

具体实施方式

图1、图2、图3中，1为Φ400工件；2为Φ300工件；3为台架，台架的台面中部有一弧形凹槽，台架的一侧设有驱动轮6，驱动轮通过链条5连接链轮4，链轮上装有支撑单晶的拖辊12，链条上设有张紧轮9，台架的底部装有万向轮10，台架的上方装有照明装置，驱动轮的端部装有摇把7；8为护罩；11为柔性台面；12为拖辊。

台面的材料为聚氨酯材料做成的。

所述的万向轮可为4个。

操作时，将硅棒用天车吊到测试台上，通过测试台的拖辊支撑单晶，摇动摇把，通过链轮、链条、驱动轮使拖辊转动，并带动单晶缓慢转动。