[实用新型]腔门固定结构及具有该结构的密封腔体机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及腔体密封技术领域，特别涉及一种腔门固定结构及具有该腔门固定结构的密封腔体机构。

背景技术

目前，在各种真空制造制程中，例如在半导体加工过程中广泛应用的化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)、蒸镀等工艺制程，为了提供一个较佳的工艺环境，这个时候就需要一种真空腔体设备。

基于某些原因，如腔体内部零部件需要更换、改造、调试，或者腔体内部需要清理，再者，蒸镀腔体内部蒸镀材料更换等，为了方便操作，通常设计时会将真空腔体系统设计为具有腔门且方便开启的真空腔体系统。这样在设计时就会考虑真空系统的提供、腔门与腔壁的密封、腔门与腔壁的固定、腔门开启等问题。

现有腔门固定结构采用类似螺丝固定的固定方式不利于腔门的方便开启，且不适宜分散安装，长期使用会导致铰链形变，影响腔室真空效果；

因此，急需一种适用于密封腔结构的，开启方便且密封效果好的腔门固定结构。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种腔门固定结构，用于对枢接于腔体上的腔门进行固定，包括安装座、压杆、第一转动轴、手轮以及卡座，所述安装座包括固定于所述腔体上的底座以及从所述底座延伸出的两侧块，所述底座对应两所述侧块的外侧分别设有安装孔，两所述侧块分别开有安装座轴孔，所述压杆一端夹持于两所述侧块之间，所述压杆对应所述安装座轴孔开有压杆轴孔，所述安装座轴孔与压杆轴孔位于同一直线上，所述转动轴穿过所述安装座轴孔以及所述压杆轴孔，所述压杆的另一端穿过所述手轮并与所述手轮啮合，所述卡座的一端固定于所述腔门上，所述卡座的另一端凸伸出所述腔门并开设有与所述压杆相匹配的卡槽，转动所述压杆进入所述卡槽内并旋转所述手轮与所述卡座抵触从而实现将腔门固定于腔体上。

较佳地，所述手轮朝向所述侧块凸伸出垫块，所述卡槽的槽口两侧凸伸出两相对的凸块，两相对的所述凸块形成卡持所述垫块的卡持区。卡持区卡持住垫块，使压杆更牢固的卡接于卡槽内。

较佳地，所述压杆设有压杆轴孔的一端与所述侧块相对的两侧分别开有平槽，所述平槽与所述侧块之间夹有垫片，平槽和垫片配合，有利于压杆更流畅的在两侧板之间转动；所述转动轴的两端还分别套设有一轴用弹性挡圈，所述弹性挡圈紧贴所述侧块的外侧壁，该弹性挡圈对转动轴起一定的固定作用，使转动轴更稳定的转动。

本实用新型还提供一种密封腔体机构，包括腔体、腔门、铰链装置以及腔门固定结构，所述腔体的一侧具有一门框，所述门框开设有一窗口，所述腔门设于对应所述窗口处，所述铰链装置的一端与所述门框固定，所述铰链装置的另一端与所述腔门固定，所述腔门通过所述铰接装置对所述窗口进行关闭或打开，所述腔门固定结构包括安装座、压杆、第一转动轴、手轮以及卡座，所述安装座包括固定于所述腔体上的底座以及从所述底座延伸出的两侧块，所述底座对应两所述侧块的外侧分别设有安装孔，两所述侧块分别开有安装座轴孔，所述压杆一端夹持于两所述侧块之间，所述压杆对应所述安装座轴孔开有压杆轴孔，所述安装座轴孔与压杆轴孔位于同一直线上，所述转动轴穿过所述安装座轴孔以及所述压杆轴孔，所述压杆的另一端穿过所述手轮并与所述手轮啮合，所述卡座的一端固定于所述腔门上，所述卡座的另一端凸伸出所述腔门并开设有与所述压杆相匹配的卡槽，转动所述压杆进入所述卡槽内并旋转所述手轮与所述卡座抵触从而实现将腔门固定于腔体上。

较佳地，正对所述门框的所述腔门的内侧从内至外依次开设有相互平行的内圈凹槽、中圈凹槽及外圈凹槽，所述内圈凹槽内容设有内圈密封圈且所述内圈密封圈凸出所述内圈凹槽，所述外圈凹槽内容设有外圈密封圈且所述外圈密封圈凸出所述外圈凹槽，内圈密封圈与外圈密封圈双层密封圈的选配方式多样，能适应各种真空制程环境；所述门框开设有通气孔，所述通气孔的一端朝向外界并与伸入外界的气管连通，关闭所述腔门时所述通气孔的另一端与所述中圈凹槽对接连通。要打开腔门时，从通气管通入空气，使中圈凹槽内充满空气进而平衡腔体外部的大气压强，使腔门能够顺利打开，无需往腔体打进空气，避免了污染气体引入腔体内，导致腔体洁净度降低，影响腔体正常工作。

较佳地，所述内圈凹槽以及所述外圈凹槽均呈燕尾结构，分别用于安装内圈密封介质和外圈密封介质；所述中圈凹槽呈方形，用作通气槽。

较佳地，所述腔门的内侧还设有至少一个工艺孔，所述工艺孔贯穿所述内圈凹槽、中圈凹槽以及所述外圈凹槽。当所述内圈密封圈、外圈密封圈需要更换时，可利用气枪向工艺孔吹气或利用尖锐工具穿过工艺孔26从而把内圈密封圈以及外圈密封圈吹起。