[实用新型]五位射频微机电式移相器

权利要求书

1.一种五位射频微机电式移相器，包括含CPW信号线、地线及设于信号线上表面的绝缘层，MEMS金属梁及设于两端的支撑，比例电容上极板、下极板在内的元器件组成的MEMS开关组，直流加载电极的正、负极及其连接导线，上表面设有绝缘层的基片，其特征在于该移相器为包含31个MEMS开关、5个直流加载电极组合而成的五位移相器，在CPW信号线两侧正对各MEMS金属梁的下方还增设有一对长度与对应的金属梁宽度相等的直流偏置电极、该直流偏置电极直接与直流加载电极的正极连接、且在其上表面设置绝缘层，而MEMS金属梁则经比例电容下极板及MEMS弹性悬臂梁与直流加载电极的负极连接；各开关中的MEMS金属梁均为孔板式金属梁、其支撑为MEMS弹性悬臂梁，各比例电容的上极板与金属梁设于同一水平位置上；基片上的绝缘层牢固地覆盖于基片上表面，直流偏置电极之间的偏置导线及直流偏置电极与直流加载电极正极之间的连接导线均设于该绝缘层与基片之间、比例电容下极板与直流加载电极负极之间的连接导线则设于该绝缘层内，CPW信号线及CPW地线、各比例电容下极板均通过设于其底部的连接导线紧固于基片的绝缘层上，各比例电容上极板的两端则分别通过支撑板固定于对应的CPW地线上，而各直流偏置电极均通过设于其底部的偏置导线紧固于基片上表面，各MEMS弹性悬臂梁的外端通过支撑杆固定于对应的比例电容下极板上、其内端则分别与对应金属梁的四角固定成一体。

2.按权利要求1所述五位射频微机电式移相器，其特征在于所述五位移相器，其移相结构为90°、45°、22.5°、11.25°和180°，共有32种移相状态。

3.按权利要求1所述五位射频微机电式移相器，其特征在于所述孔板式金属梁长250-400μm、宽80-110μm、厚0.5-3μm，其上各孔的孔径为Φ3-8μm、相邻两孔的中心距为6-12μm且相邻两孔间的间距不小于2μm，最外侧孔与金属梁侧边的距离不小于2.5μm。

4.按权利要求1所述五位射频微机电式移相器，其特征在于所述MEMS弹性悬臂梁为波纹式悬臂梁或鹤腿式悬臂梁、曲臂式悬臂梁。

5.按权利要求1所述五位射频微机电式移相器，其特征在于所述比例电容为金属-空气或绝缘层-金属结构的比例电容。