[实用新型]PECVD用硅片载片器的挂钩

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种太阳能光伏产业工艺设备，具体地说是用于平板炉PECVD(等离子增强化学气相沉积)中的配套装置。

背景技术

平板炉PECVD在实施工艺时，是把硅片放在硅片载片器的挂钩上，再进入平板炉中的。太阳能光伏电池在加工过程中，有碎片和彩片的问题，原因之一就是挂钩造成的。

如图1、图2所示，现有的挂钩是用0.5～1毫米的板材，经冲压成型，表面粗糙度较差，不容易达到工艺要求。挂钩的钩体2近似呈H字形，钩体2的上部内侧有两个直角锐边1，钩体2的下部两侧有向外上方弯曲的钩尖3，钩尖3的顶部是一条直线4。使用该挂钩，在放片、取片时，由于钩体2的表面粗糙度差以及直角锐边1的存在，很容易把只有150～200微米厚的硅片刮出应力或微裂痕，在以后的热加工过程中，应力扩大，微裂痕会变大，甚至导致硅片破碎，产生碎片；另外，工艺要求挂钩与硅片的接触面积越小越好，这样不容易产生彩片，但由于钩尖3的顶部是一条直线4，接触面积较大，不能满足工艺要求。

发明内容

本实用新型针对上述问题，提供一种PECVD用硅片载片器的挂钩，该挂钩可降低碎片率，并且不易产生彩片。

按照本实用新型的技术方案：一种PECVD用硅片载片器的挂钩，包括钩体，其特征是：所述钩体包括两个向下延伸的支臂，钩体的下部两侧为向外上方弯曲的钩尖，钩体的腰部内侧设置有向内伸的顶尖。

所述钩体的顶部设置有向下弯曲的折弯部。所述钩体的材料为冷拉不锈钢丝。所述支臂的截面为圆形。所述钩尖为圆锥体。所述顶尖为圆锥体。所述的两个支臂是对称设置的。

本实用新型的技术效果在于：本实用新型钩体的截面为圆形，表面很光，粗糙度小，装取片时，不容易对硅片造成影响，不易产生碎片；钩尖为圆锥体，与硅片是点接触，不易产生彩片。

附图说明

图1为现有技术中的挂钩的结构示意图；

图2为图1的俯视图；

图3为本实用新型的结构示意图；

图4为图3的俯视图；

图5为本实用新型装上垫片后的结构示意图；

图6为图5的俯视图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明。

如图3、图4所示，所述挂钩包括钩体1，所述钩体1包括两个向下延伸的支臂，钩体1的下部两侧为向外上方弯曲的钩尖3，钩体1的腰部内侧设置有向内伸的顶尖2。所述钩体1的顶部设置有向下弯曲的折弯部4。所述钩体1的材料为冷拉不锈钢丝。所述支臂的截面为圆形。所述钩尖3为圆锥体。所述顶尖2为圆锥体。

本实用新型包括钩体1，钩体1的材料为冷拉不锈钢丝，钩体1包括两个向下延伸的支臂，支臂的截面为圆形，表面很光，不会刮伤硅片。钩体1由不锈钢丝弯曲成“几”字形，其顶部设置有向下的弯曲的折弯部4。钩体1的下部两侧为向外上方弯曲的钩尖3，钩尖3为圆锥体，磨制成针尖状。钩体1的腰部内侧设置有向内伸的顶尖2，顶尖2也为圆锥体，磨制成针尖状。

如图5、图6所示，本实用新型使用时，腰部的顶尖2上装配有垫片5，顶部的弯曲的折弯部4下也垫有垫片。本实用新型装配到硅片载片器上后，钩尖3的圆锥体顶部与硅片是点接触，不易产生彩片。钩体1的表面很光，不会刮伤硅片，可降低碎片率0.2个百分点。