[实用新型]PECVD用硅片载片器的挂钩

权利要求书

1.一种PECVD用硅片载片器的挂钩，包括钩体(1)，其特征是：所述钩体(1)包括两个向下延伸的支臂，钩体(1)的下部两侧为向外上方弯曲的钩尖(3)，钩体(1)的腰部内侧设置有向内伸的顶尖(2)。

2.按照权利要求1所述的PECVD用硅片载片器的挂钩，其特征是：所述钩体(1)的顶部设置有向下弯曲的折弯部(4)。

3.按照权利要求1所述的PECVD用硅片载片器的挂钩，其特征是：所述钩体(1)的材料为冷拉不锈钢丝。

4.按照权利要求1所述的PECVD用硅片载片器的挂钩，其特征是：所述支臂的截面为圆形。

5.按照权利要求1所述的PECVD用硅片载片器的挂钩，其特征是：所述钩尖(3)为圆锥体。

6.按照权利要求1所述的PECVD用硅片载片器的挂钩，其特征是：所述顶尖(2)为圆锥体。

7.按照权利要求1所述的PECVD用硅片载片器的挂钩，其特征是：所述的两个支臂是对称设置的。