[实用新型]一种晶圆输送盒有效
| 申请号： | 200920209241.1 | 申请日： | 2009-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN201489023U | 公开（公告）日： | 2010-05-26 |
| 发明（设计）人： | 郑雅文;马瑾怡;马笃林;王晓韬 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/02 | 分类号： | G01R1/02;G01R31/26;G01R27/02;G01N27/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 输送 | ||
1.一种晶圆输送盒，包括：第一挡板、第二挡板，以及连接所述第一挡板(206a)和所述第二挡板的第一手柄，其特征在于，在所述第一挡板上还设置有第一通孔。
2.如权利要求1所述的晶圆输送盒，其特征在于，所述第一通孔位于所述第一挡板的中心。
3.如权利要求2所述的晶圆输送盒，其特征在于，所述第二挡板上也设置有第一通孔，所述第一通孔位于所述第二挡板的中心。
4.如权利要求3所述的晶圆输送盒，其特征在于，在所述第一挡板和所述第二挡板的第一通孔周围还分布有第二通孔。
5.如权利要求4所述的晶圆输送盒，其特征在于，还包括垂直于所述第一手柄的第二手柄。
6.如权利要求5所述的晶圆输送盒，其特征在于，所述第一手柄和所述第二手柄的截面为多边形。
7.如权利要求5所述的晶圆输送盒，其特征在于，所述所述第一手柄和所述第二手柄表面设置多个凹槽或突起。
8.如权利要求6或7所述的晶圆输送盒，其特征在于，在所述晶圆输送盒的第一挡板或第二挡板上还设置有支撑部。
9.如权利要求6或7所述的晶圆输送盒，其特征在于，在所述晶圆输送盒的第一挡板或第二挡板上还设置有倾斜支撑部，所述倾斜支撑部的倾斜面与水平面成5度到45度角。
10.如权利要求9所述的晶圆输送盒，其特征在于，所述倾斜支撑部的倾斜面与水平面成30度角。
11.如权利要求10所述的晶圆输送盒，其特征在于，所述晶圆输送盒能盛放的晶圆数小于25片。
12.如权利要求11所述的晶圆输送盒，其特征在于，所述晶圆输送盒能盛放的晶圆数为10片。
13.如权利要求12所述的晶圆输送盒，其特征在于，所述晶圆输送盒的材料可以为不包含镁的铝合金。
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