[实用新型]多晶硅氢化炉双层导流隔热罩

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种隔热罩，特别是一种多晶硅氢化炉双层导流隔热罩，属于太阳能光伏能源技术领域。

背景技术

随着国际电子信息产业和光伏产业的迅猛发展，多晶硅产品市场一直方兴未艾。伴随着多晶硅的生产，工艺尾气中的四氯化硅的处理问题日益凸显。若处理不善，会产生严重的环境污染问题。而且，随着市场竞争的加剧，业界也迫切希望增产减排，循环利用四氯化硅。

多晶硅氢化炉作为工艺尾气处理装置，其工艺条件非常苛刻，四氯化硅需要在1200℃以上的高温下进行反应，对设备的安全性和材料的选择提出了很高的要求。业界一般同时采用下述两种方法处理：一是使用单层隔热罩，二是采用冷却水对金属壳体进行冷却。使用单层隔热罩，不能起到很好的隔热效果，易导致金属壳体温度过高而产生安全问题，对金属材料的选用提出了更高的要求。采用冷却水进行冷却的方法，虽然能在一定程度上降低金属壳体的温度，但是冷却水将带走大量的热量，不利于环保节能。由于金属壳体的温度高，为有效地保证冷却效果，冷却系统的技术要求也须相应提高。

另外，工艺尾气进入氢化炉的方式，业内通常采用底部进气的方法。由于气流的速度非常高，尾气对隔热罩产生很大的向上的推力，易造成隔热罩不稳定从而引发安全问题。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种多晶硅氢化炉双层导流隔热罩，能够克服上述不足，实现优良的隔热效果，高效地利用能源，提高设备安全性和稳定性，降低生产难度。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种多晶硅氢化炉双层导流隔热罩，包括内层隔热罩和套设在所述内层隔热罩外侧的外层隔热罩，所述内层隔热罩和外层隔热罩底部设的隔热底盘，所述内层隔热罩和外层隔热罩之间形成导流通道；所述外层隔热罩的下部设有进气通道，所述内层隔热罩的上部设有进气通道。

进一步地，所述内层隔热罩由内层隔热筒和设置其顶部的内层隔热盖构成，所述外层隔热罩由外层隔热筒和设置其顶部的外层隔热盖构成；所述隔热底盘设置在所述内层隔热筒和外层隔热筒的底部。

进一步地，所述内层隔热筒和外层隔热筒同轴设置。

进一步地，所述内层隔热盖为平板形、弧形或锥形；所述外层隔热盖为平板形、弧形或锥形。

进一步地，所述隔热底盘只连接安装在所述内层隔热筒的底部；或者所述隔热底盘同时连接安装在所述内层隔热筒和外层隔热筒的底部。

进一步地，所述内层隔热罩上的进气通道设置在所述内层隔热筒的上部。

进一步地，所述内层隔热罩上的进气通道设置在所述内层隔热盖上。

进一步地，所述内层隔热罩上的进气通道有一圈或多圈，每圈进气通道包括多个进气孔。

进一步地，所述外层隔热罩上的进气通道有一排或多排，每排进气通道包括多个进气孔。

本实用新型通过设置两层隔热罩，两层隔热罩之间形成导流通道，工艺尾气经该导流通道进入内层隔热罩内的反应区，第一，工艺尾气是热的不良导体，可以起到很好的隔热作用；第二，工艺尾气在经过导流通道时吸收由反应区传来的热量后被预热，可以提高进后反应区后反应效率；第三，双层隔热罩所形成的气流方向使设备更加安全和稳定。

附图说明

图1是本实用新型的多晶硅氢化炉双层导流隔热罩的一实施例的剖视图。

图中：1.外层隔热盖，2.内层隔热盖，3.外层隔热筒，4.内层隔热筒，5.隔热底盘。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好的理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。

如图1所示，在本实用新型的一实施例中，多晶硅氢化炉双层导流隔热罩包括内层隔热罩和外层隔热罩，内层隔热罩和外层隔热罩之间形成导流通道。其中，内层隔热罩由内层隔热筒4和设置其顶部的内层隔热盖2构成，外层隔热罩由外层隔热筒3和设置其顶部的外层隔热盖1构成。内层隔热盖2和外层隔热盖1可以采用平板形、弧形和锥形中的任意一种，且内层隔热盖2和外层隔热盖1可以采用不同形状。在内层隔热筒4和外层隔热筒3的底部设有隔热底板5，隔热底板5既可以单独连接安装在内层隔热筒4的底部，也可以同时连接安装在内层隔热筒4和外层隔热筒3的底部。在其它实施例中，内层隔热罩和外层隔热罩也可以分别制成一个整体。为了使气流组织更均匀，内层隔热罩和外层隔热罩最好同轴设置。