[实用新型]多晶硅氢化炉双层导流隔热罩无效
| 申请号： | 200920209029.5 | 申请日： | 2009-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN201485286U | 公开（公告）日： | 2010-05-26 |
| 发明（设计）人： | 李东曦;周积卫;茅陆荣;张华芹 | 申请（专利权）人： | 上海森松新能源设备有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03 |
| 代理公司： | 上海欣创专利商标事务所 31217 | 代理人： | 西江 |
| 地址： | 201323 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 氢化 双层 导流 隔热 | ||
1.一种多晶硅氢化炉双层导流隔热罩，其特征在于，包括内层隔热罩和套设在所述内层隔热罩外侧的外层隔热罩，所述内层隔热罩和外层隔热罩底部设的隔热底盘，所述内层隔热罩和外层隔热罩之间形成导流通道；所述外层隔热罩的下部设有进气通道，所述内层隔热罩的上部设有进气通道。
2.根据权利要求1所述的多晶硅氢化炉双层导流隔热罩，其特征在于，所述内层隔热罩由内层隔热筒和设置其顶部的内层隔热盖构成，所述外层隔热罩由外层隔热筒和设置其顶部的外层隔热盖构成；所述隔热底盘设置在所述内层隔热筒和外层隔热筒的底部。
3.根据权利要求2所述的多晶硅氢化炉双层导流隔热罩，其特征在于，所述内层隔热筒和外层隔热筒同轴设置。
4.根据权利要求2所述的多晶硅氢化炉双层导流隔热罩，其特征在于，所述内层隔热盖为平板形、弧形或锥形；所述外层隔热盖为平板形、弧形或锥形。
5.根据权利要求2所述的多晶硅氢化炉双层导流隔热罩，其特征在于，所述隔热底盘只连接安装在所述内层隔热筒的底部；或者所述隔热底盘同时连接安装在所述内层隔热筒和外层隔热筒的底部。
6.根据权利要求2所述的多晶硅氢化炉双层导流隔热罩，其特征在于，所述内层隔热罩上的进气通道设置在所述内层隔热筒的上部。
7.根据权利要求2所述的多晶硅氢化炉双层导流隔热罩，其特征在于，所述内层隔热罩上的进气通道设置在所述内层隔热盖上。
8.根据权利要求1、6或7所述的多晶硅氢化炉双层导流隔热罩，其特征在于，所述内层隔热罩上的进气通道有一圈或多圈，每圈进气通道包括多个进气孔。
9.根据权利要求1所述的多晶硅氢化炉双层导流隔热罩，其特征在于，所述外层隔热罩上的进气通道有一排或多排，每排进气通道包括多个进气孔。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海森松新能源设备有限公司，未经上海森松新能源设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200920209029.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
