[实用新型]MEMS麦克风

说明书

【技术领域】

本实用新型涉及一种麦克风，尤其涉及一种MEMS麦克风。

【背景技术】

随着无线通讯的发展，全球移动电话用户越来越多，用户对移动电话的要求已不仅满足于通话，而且要能够提供高质量的通话效果，尤其是目前移动多媒体技术的发展，要求对拾取声音的指向性和降噪能力加强，移动电话的麦克风作为移动电话的语音拾取装置，其设计好坏直接影响通话质量。

而目前应用较多且性能较好的麦克风是MEMS(Micro-Electro-Mechanical-System Microphone)麦克风。相关技术的麦克风如图1所示，包括：底板21’、覆盖底板21’的上盖22’、分别置于底板21’上的换能器2’和控制电路3’，其中，底板21’设有声孔11’。这种麦克风的结构无法从封装上来控制麦克风的低频衰减量，从而不能使麦克风达到较高的频响性能。

【实用新型内容】

本实用新型需解决的技术问题在于提供一种对低频噪声抗干扰能力强的新型MEMS麦克风。

本实用新型通过这样的技术方案解决上述技术问题：

一种MEMS麦克风，包括由底板和覆盖底板的上盖构成的保护结构和置于该保护结构内的带有背腔的换能器，该保护结构形成收容腔，在该保护结构上设有泄漏通道和接收外界声源的进声孔，进声孔与泄漏通道贯通，泄漏通道设有泄漏孔，收容腔通过该泄漏孔与泄漏通道贯通。

优选的，所述的泄漏孔面积大小在3.14×10^-8m²以内。

优选的，所述的换能器置于底板上，所述泄漏通道、进声孔和泄漏孔设在底板上，换能器的背腔在进声孔上方，该背腔覆盖进声孔。

优选的，所述的换能器置于底板上，进声孔和泄漏通道、泄漏孔分别设在上盖。

优选的，所述的换能器置于底板上，所述进声孔设在底板上，泄漏孔设在上盖。

本实用新型的有益效果在于，由于设置了泄漏通道和泄漏孔，收容腔可通过泄漏通道与外界进行气体交换，加大了麦克风低频衰减量，这样来减少低频噪声对麦克风产生的干扰，提高麦克风的频响特性。

【附图说明】

图1为相关技术MEMS麦克风的剖视示意图；

图2为本实用新型提供的实施例1中的MEMS麦克风剖视示意图；

图3为本实用新型提供的实施例2中的MEMS麦克风剖视示意图；

图4为本实用新型提供的实施例3中的MEMS麦克风剖视示意图。

【具体实施方式】

下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。

本实用新型提供的MEMS麦克风，主要用于手机上，接受声音并将声音转化为电信号。

如图2示，为本实用新型提供的实施例1，该MEMS麦克风主要包括底板31、覆盖底板31的上盖32和分别置于底板31上的控制电路5和带有背腔22的换能器6，底板31和上盖32组成保护结构(图中未标)，该保护结构形成收容腔23，换能器6所在的板为所述底板。

其中，控制电路5和换能器6电连接。在本实施例中，换能器6与控制电路5是通过金线实现电连接的，当然也可以采取其他的方式实现电连接，比如说通过嵌在电路板内的电路进行连接。

在本实施例中，控制电路5和换能器6是分体结构，当然也可以将二者集成于一体。

所述底板31设有进声孔11和泄漏通道21，进声孔11和泄漏通道21贯通，泄漏通道21上设有泄漏孔12，收容腔23通过该泄漏孔12与泄漏通道21贯通。该结构保证收容腔23能够通过泄漏通道21与外界进行气体交换。

所述换能器6的背腔22在进声孔11上方，并覆盖进声孔11。

所述泄漏孔12面积设置在3.14×10^-8m²以内。该泄漏孔面积的设置，可以控制收容腔23与外界的气体交换量，从而控制麦克风低频衰减量。

如图3示，为本实用新型提供的实施例2，该MEMS麦克风其他构造与实施例1中的构造相同，其不同之处在于：泄漏通道21和泄漏孔12和进声孔11都分别设在上盖32上，进声孔11和泄漏通道21贯通，泄漏通道21上设有泄漏孔12，收容腔23通过该泄漏孔12与泄漏通道21贯通，进声孔11直接与收容腔23贯通。

如图4示，为本实用新型提供的实施例3，该MEMS麦克风其他构造与实施例1中的构造相同，其不同之处在于：所述进声孔11设在底板31上，所述泄漏孔12设在上盖32，进声孔11和泄漏通道21贯通，泄漏通道21设在底板31和上盖32共同构成的保护结构上，贯通进声孔11和泄漏孔12，收容腔23通过该泄漏通道21与外界进行气体交换。