[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 200920204779.3 | 申请日： | 2009-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN201509291U | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 王凯 | 申请（专利权）人： | 常州美欧电子有限公司;深圳市美欧电子有限责任公司 |
| 主分类号： | H04R1/08 | 分类号： | H04R1/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213167 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【权利要求书】：
1.一种MEMS麦克风，其包括：由底板和覆盖底板的上盖构成的保护结构和置于该保护结构内的带有背腔的换能器，该保护结构形成收容腔，其特征在于：在该保护结构上设有泄漏通道和接收外界声源的进声孔，进声孔与泄漏通道贯通，泄漏通道设有泄漏孔，收容腔通过该泄漏孔与泄漏通道贯通。
2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述的泄漏孔面积大小在3.14×10-8m2以内。
3.根据权利要求1或2所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述的换能器置于底板上，所述泄漏通道、进声孔和泄漏孔设在底板上，换能器的背腔在进声孔上方，该背腔覆盖进声孔。
4.根据权利要求1或2所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述的换能器置于底板上，进声孔和泄漏通道、泄漏孔分别设在上盖。
5.根据权利要求1或2所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述的换能器置于底板上，进声孔设在底板上，泄漏孔设在上盖。
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