[实用新型]光学测量装置

说明书

技术领域

本实用新型有关一种光学仪器，特别是关于一种整合型的光学测量装置。

背景技术

目前产业用于产品测量及对位需求多元，以往使用单一功能调整装置来测量或对位单一产品的方式已达不到量产需求，遂有业者开发具有多轴调整装置，提升调整装置的功能，如图1所示，卧式光学测量装置包含干涉仪11、移动轨道12及多轴调整装置13，干涉仪11与移动轨道12设置于一光学平台14上，多轴调整装置13供一待测物置放，且利用多轴调整件让多轴调整装置13于移动轨道12上水平移动，以调整测量距离或调整待测物角度，而移动距离值与干涉仪11输出光讯号测量待测物的影像分别由两个显示器15、16显示，再将测量的数据通过一计算机进行分析。

然而，干涉仪11容易受振动干扰，所以必须置放于光学平台(光学桌)14上，由于干涉仪11是由用户自由摆放于光学平台14上，操作前，需先将干涉仪11与多轴调整装置13进行对位步骤，而测量过程中，干涉仪11容易受外力影响而产生振震动，使干涉仪11无法精准对位于待测物，让输出的光讯号有误差而失去测量准确度的问题。再者，虽可测量范围较大，但整个体积大且所占面积大，且需价格昂贵的光学平台14作为置放平台，整个光学测量装置的成本也就相对提高，因此不符合产业需求而大量生产。

为了提高操作便利性及符合产业需求而大量生产，如图2所示，适用于测量范围小的立式光学测量装置，是将干涉仪11、可置放待测物的多轴调整装置13及两显示屏15、16整合于一机台20上，干涉仪11设置于机台20的底座201，且垂直对应于多轴调整装置13，其中，干涉仪11与多轴调整装置13之间的测量距离约300mm。两个显示器15、16设置于机台20的侧边以供使用者方便浏览，由此，可提高操作的便利性，且可减少所占摆放空间，以符合产业需求而大量生产。然而，干涉仪11需配合不同的产品而增设标准镜头来进行测量，一旦干涉仪11增加标准镜头，会让原本干涉仪11与多轴调整装置13之间的测量距离随之变短，加上干涉仪本体的长度造成可测量的产品类型受限，而无法达到有效率的应用。

有鉴于此，故本实用新型提出一种光学测量装置，以有效改善前述的这些问题。

发明内容

本实用新型的主要目的是提供一种光学测量装置，其应用于各种工作场合上，并具有抗振动、低成本、体积小、操作方便及检测迅速等优点。

本实用新型的另一目的是提供一种光学测量装置，其中干涉仪可视产品需求而更换或加装镜组而扩充测量口径，适用于各种尺寸平面或球面的镜面测量的实用性，可解决公知测量口径限制而无法因应不同产品的检测需求。

本实用新型的再一目的是提供一种光学测量装置，其将干涉仪与反射镜组同轴固定设置于一座体上，可省略公知进行对位的繁杂步骤，且可节省光学平台的成本支出，再者，座体更可具有防振效果以提高测量的稳定度。

本实用新型的又一目的是提供一种光学测量装置，其可解决公知光学测量装置的体积大且所占面积大，而造成携带或操作上极为不便利的问题。

为达到上述目的，本实用新型光学测量装置，为整合型的光学测量装置，其包括：

一座体；

一支撑架，垂直连接于该座体上，该支撑架具有一滑轨与一光学尺；

一调整座，设置于该支撑架的该滑轨上，且连接于该光学尺，该调整座利用该滑轨做上下移动的动作，并由该光学尺测量该调整座的一移动距离值，该调整座具有多个调整件及一平台，多个该调整件用以调整该平台的角度，该平台提供一待测物置放；

一干涉仪，设置于该座体上，并提供一光讯号；

一反射镜组，与该干涉仪同轴设置于该座体上，且对应该调整座的该平台，该反射镜组接收该干涉仪输出的光讯号，并将其反射至该待测物以产生一干涉条纹影像；及

一显示器组，显示该移动距离值与该干涉条纹影像。

所述的光学测量装置，其中该干涉仪具有一第一嵌槽，以供装设一扩光镜组或一缩光镜组。

所述的光学测量装置，其中该调整座的该平台与该反射镜组之间的移动距离介于0mm-450mm。

所述的光学测量装置，其中该反射镜组具有一第二嵌槽，供装设一标准镜头，该反射镜组将该干涉仪输出的该光讯号反射，并透过该标准镜头将反射的该光讯号投射至该待测物上。

所述的光学测量装置，其中该调整座的多个该调整件包含五轴微调件及至少一粗调件。

所述的光学测量装置，其中该干涉仪为一雷射干涉仪。

所述的光学测量装置，其中该座体为防振材料制作而成。