[实用新型]光学测量装置

权利要求书

1.一种光学测量装置，其特征在于，包括：

一座体；

一支撑架，垂直连接于该座体上，该支撑架具有一滑轨与一光学尺；

一调整座，设置于该支撑架的该滑轨上，且连接于该光学尺，该调整座利用该滑轨做上下移动的动作，并由该光学尺测量该调整座的一移动距离值，该调整座具有多个调整件及一平台，多个该调整件用以调整该平台的角度，该平台提供一待测物置放；

一干涉仪，设置于该座体上，并提供一光讯号；

一反射镜组，与该干涉仪同轴设置于该座体上，且对应该调整座的该平台，该反射镜组接收该干涉仪输出的光讯号，并将其反射至该待测物以产生一干涉条纹影像；及

一显示器组，显示该移动距离值与该干涉条纹影像。

2.如权利要求1所述的光学测量装置，其特征在于，该干涉仪具有一第一嵌槽，以供装设一扩光镜组或一缩光镜组。

3.如权利要求1所述的光学测量装置，其特征在于，该调整座的该平台与该反射镜组之间的移动距离介于0mm-450mm。

4.如权利要求1所述的光学测量装置，其特征在于，该反射镜组具有一第二嵌槽，供装设一标准镜头，该反射镜组将该干涉仪输出的该光讯号反射，并透过该标准镜头将反射的该光讯号投射至该待测物上。

5.如权利要求1所述的光学测量装置，其特征在于，该调整座的多个该调整件包含五轴微调件及至少一粗调件。

6.如权利要求1所述的光学测量装置，其特征在于，该干涉仪为一雷射干涉仪。

7.如权利要求1所述的光学测量装置，其特征在于，该座体为防振材料制作而成。

8.如权利要求1所述的光学测量装置，其特征在于，该显示器组包含一第一显示器与一第二显示器，该第一显示器显示该光学尺测量的该移动距离值，该第二显示器显示该待测物的该干涉条纹影像。

9.如权利要求8所述的光学测量装置，其特征在于，该第一显示器为一液晶或LED显示屏幕。

10.如权利要求8所述的光学测量装置，其特征在于，该第二显示器为一液晶或LED显示屏幕。

11.如权利要求1所述的光学测量装置，其特征在于，该待测物为一光学组件。

12.如权利要求11所述的光学测量装置，其特征在于，该光学组件为平面透镜或凹凸球面透镜。