[实用新型]多晶硅尾气回收系统吸附柱的多组双程回流套管加热器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种加热器，具体涉及一种吸附柱内部的加热器。

背景技术

在多晶硅装置尾气回收系统中吸附柱是极其关键的设备，用来吸收氢气中的残留的HCl和氯硅烷，从而得到高纯度的氢气。吸附柱内的吸附剂吸附工作周期为8小时左右，通过加热再生后循环使用。通常的加热装置是在设备内设置内部热水加热盘管，但因为振动、疲劳及热膨胀等原因，常常造成盘管损坏、设备失效，并使盘管内的水与设备内的氯硅烷、HCl、氢气介质接触，形成强烈的腐蚀环境并产生爆炸危险。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种多晶硅尾气回收系统吸附柱多组双程回流套管加热器，解决以往吸附柱使用的盘管式加热容易损坏，危险较大的问题。

为解决上述的技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

一种多晶硅尾气回收系统吸附柱的多组双程回流套管加热器，该加热器包括多组与吸附柱轴向平行设置的双程回流套管，上述多组双程回流套管通过支撑架安装在吸附柱内部，每组双程回流套管包括外套管和内套管，内套管的下部通过支撑结构固定在外套管的内壁，内套管的直径比外套管小，其长度比外套管短；外套管上端封闭，下端也封闭，仅通过一设置在外套管下部的出气管与外部连通，内套管上端敞开，而下端封闭；进气管一端与外界连通，另一端口与内套管、外套管之间的环形间隙相通。

更进一步的技术方案是：

所述的每组双程回流套管加热器还设置有用于排出气体的放净装置，该放净装置为一根设置在内套管中间的中心管，该中心管上部与内套管的上部齐平，下部穿过内套管和外套管与加热器外部连通。

所述的内套管和外套管之间安装有支撑定位板。

所述的内套管和外套管为钢管。

所述的支撑架由与双程回流套管加热器数目相等的管套和连接各个管套的连接杆组成，每个管套的内壁将外套管的外壁包围，而连接杆成网状，将多个管套连接起来，固定安装在吸附柱内壁上。

本实用新型还可以：

所述的各组双程回流套管之间的进气管和出气管之间采用并联或串联方式连接。

所述的各组双程回流套管之间的进气管和出气管之间采用串联连接，即第一组双程回流套管的进气口与最后一组双程回流套管的出气口分别与进气装置和出气接收装置相连，其余每组双程回流套管的出气口和下一组双程回流套管的进气口相连。

所述的各组双程回流套管之间的进气管和出气管之间采用并联连接，即各组双程回流套管的进气口同时与进气装置相连，各组双程回流套管的出气口同时与出气接收装置相连。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：加热器整个结构紧凑，所占体积空间小，传热面积大，提高吸附剂的装填量并增强换热效率。在加热过程中避免了加热器的热胀冷缩，减小了温差应力，提高了产品的抗疲劳效果，延长了产品的使用寿命，大大降低了加热器发生爆炸的危险性。同时将本实用新型运用在吸附柱内部吸附剂加热再生中，能够有效的提高产品质量，降低能耗，提高经济效益，经过在设备上的测试和生产中的运用，其运行良好，适宜推广运用。

附图说明

图1为本实用新型的整体示意图；

图2为图1沿A-A′的剖视图；

图3为本实用新型中双程回流套管加热器的放大示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步阐述。