[实用新型]多晶硅尾气回收系统吸附柱的多组双程回流套管加热器

权利要求书

1.一种多晶硅尾气回收系统吸附柱的多组双程回流套管加热器，其特征在于：该加热器包括多组与吸附柱轴向平行设置的双程回流套管，上述多组双程回流套管通过支撑架(10)安装在吸附柱内部，每组双程回流套管包括外套管(4)和内套管(5)，内套管(5)的下部通过支撑结构(3)固定在外套管(4)的内壁，内套管(5)的直径比外套管(4)小，其长度比外套管(4)短；外套管(4)上端封闭，下端也封闭，仅通过一设置在外套管下部的出气管(2)与外部连通，内套管(5)上端敞开，而下端封闭；进气管(1)一端与外界连通，另一端口与外套管(4)、内套管(5)之间的环形间隙相通。

2.根据权利要求1所述的多晶硅尾气回收系统吸附柱的多组双程回流套管加热器，其特征在于：所述的每组双程回流套管加热器还设置有用于排出气体的放净装置(7)，该放净装置(7)为一根设置在内套管(5)中间的中心管，该中心管上部与内套管(5)的上部齐平，下部穿过内套管(5)和外套管(4)与加热器外部连通。

3.根据权利要求2所述的多晶硅尾气回收系统吸附柱的多组双程回流套管加热器，其特征在于：所述的内套管(5)和外套管(4)之间安装有支撑定位板(6)。

4.根据权利要求1所述的多晶硅尾气回收系统吸附柱的多组双程回流套管加热器，其特征在于：所述的内套管(5)和外套管(4)为钢管。

5.根据权利要求1所述的多晶硅尾气回收系统吸附柱的多组双程回流套管加热器，其特征在于：所述的支撑架(10)由与双程回流套管加热器数目相等的管套(11)和连接各个管套(11)的连接杆(12)组成，每个管套(11)的内壁将外套管(4)的外壁包围，而连接杆(12)成网状，连接多个管套(11)，固定安装在吸附柱内壁上。

6.根据权利要求1所述的多晶硅尾气回收系统吸附柱的多组双程回流套管加热器，其特征在于：所述的各组双程回流套管之间的进气管(1)和出气管(2)之间采用并联或串联方式连接。

7.根据权利要求6所述的多晶硅尾气回收系统吸附柱的多组双程回流套管加热器，其特征在于：所述的各组双程回流套管之间的进气管(1)和出气管(2)之间采用串联连接，即第一组双程回流套管的进气口(1)与最后一组双程回流套管的出气口(2)分别与进气装置和出气接收装置相连，其余每组双程回流套管的出气口(2)和下一组双程回流套管的进气口(1)相连。

8.根据权利要求6所述的多晶硅尾气回收系统吸附柱的多组双程回流套管加热器，其特征在于：所述的各组双程回流套管之间的进气管(1)和出气管(2)之间采用并联连接，即各组双程回流套管的进气口(1)同时与进气装置相连，各组双程回流套管的出气口(2)同时与出气接收装置相连。