[实用新型]一种带吸尘系统的刻膜机

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种刻膜机，尤其涉及一种带吸尘系统的刻膜机。

背景技术

非晶硅太阳能电池生产流程涉及到底层电极、中间光伏效应层和表面欧姆接触电极层的薄膜沉积以及各层的刻划。激光刻划技术相比传统的掩模法具有更高的生产效率以及稳定的产品质量，已经较好地应用于太阳能电池的制造工艺流程中。然而，在激光刻划非晶硅电池的过程中，容易产生大量微小的粉尘，并且大部分的粉尘不能到达除尘系统，除尘系统除尘效率低，使得产生的粉尘污染空气，给操作人员带来不便，也会污染工作台或者非晶硅电池，给设备维修或者电池的生产带来不便。

实用新型内容

本实用新型针对现有非晶硅太阳能电池生产存在的上述不足，提供一种带吸尘系统的刻膜机。

本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：一种带吸尘系统的刻膜机，包括龙门钢架，与所述龙门钢架相连的激光头，与所述激光头相连的分光箱，位于所述分光箱下方的非晶硅电池，所述非晶硅电池设置于超净工作台之上，所述带吸尘系统的刻膜机还包括吸尘系统，所述吸尘系统与所述超净工作台相连接。

本实用新型的有益效果是：本实用新型带吸尘系统的刻膜机通过吸尘系统将非晶硅太阳能电池生产过程中产生的大部分粉尘吸收，然后通过除尘系统集中处理，提高了除尘系统除尘的效率。

在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。

进一步，所述吸尘系统包括离子棒、吸尘口、吸尘风道管、吸风风箱和出风口，所述离子棒设于吸尘风道管侧面，所述吸尘风道管横贯于所述超净工作台，所述吸风风箱与所述吸尘风道管相连，所述的吸尘口位于激光光束正下方，所述出风口设置于所述吸风风箱的底部。

进一步，所述离子棒包括两个电极针。

进一步，所述吸尘风道管靠近所述非晶硅电池的管壁上具有两个吸尘口。

进一步，所述吸尘口的数量和所述分光箱射出的激光光束的数量相等。

进一步，所述吸尘口的位置和所述分光箱射出的激光光束是一一对应的。

附图说明

图1为本实用新型带吸尘系统的刻膜机第一实施例的结构示意图；

图2为本实用新型带吸尘系统的刻膜机第二实施例的结构示意图；

图3为本实用新型带吸尘系统的刻膜机的工作示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。

图1为本实用新型带吸尘系统的刻膜机第一实施例的结构示意图，图2为本实用新型带吸尘系统的刻膜机第二实施例的结构示意图，图3为本实用新型带吸尘系统的刻膜机的工作示意图。如图1、图2及图3所示，所述带吸尘系统的刻膜机包括龙门钢架7，与所述龙门钢架7相连的激光头8，与所述激光头8相连的分光箱9，位于所述分光箱9下方的非晶硅电池2，所述非晶硅电池2设置于超净工作台3之上，所述带吸尘系统的刻膜机还包括吸尘系统，所述吸尘系统与所述超净工作台3相连接。所述带吸尘系统的刻膜机还可以连接有一除尘系统。所述超净工作台3分为三层，上层用于固定所述非晶硅电池2，下层固定在X/Y运动机构上，中间层为吸尘区域。

所述吸尘系统包括离子棒13、吸尘口12、吸尘风道管4、吸风风箱10和出风口11，所述离子棒设于吸尘风道管侧面。所述吸尘风道管4横贯于所述超净工作台3，并从所述超净工作台3的中间层伸入到超净工作台3的中心进行吸尘。所述吸风风箱10与所述吸尘风道管4相连。所述出风口11设置于所述吸风风箱10的底部。所述的吸尘口12位于激光光束1正下方。所述离子棒包括两个电极针。所述吸尘风道管4靠近所述非晶硅电池2的管壁上具有两个吸尘口12。所述吸尘口12的数量和所述分光箱9射出的激光光束1的数量相等。所述吸尘口12的位置和所述分光箱9射出的激光光束1是一一对应的，可以实现点对点的吸尘。

所述离子棒的两个电极针上施加直流电压同时产生正负离子，这样大量的离子被产生出来，因此静电消除速度很快，使吸尘效果达到最佳。所述吸尘风道管具有一风道面，所述风道面的四周加大，风道面上吸尘口与激光光束一一对应，使得非晶硅电池片在作X方向5及Y方向6直线运动时，无论运动到任何位置均不影响点对点的吸尘。所述吸尘风道管4腔内被设置于所述吸风风箱10内的风机抽成负压，大量微小粉尘被快速吸进所述吸尘风道4管腔内，再通过除尘系统集中处理。