[实用新型]输送装置及具有该输送装置的检测机台

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种检测机台，尤其是一种具有吸附支撑器的输送装置及具有该装置的检测机台。

背景技术

原油价格不断升高的当今，替代性能源需求日益加剧，太阳能以其取之不竭、使用无污染、转换效率日渐增高等特性，太阳能相关技术因而日益精进，成为替代性能源的首选。目前不仅在计算器、手表等小型电子产品中广泛应用，在道路交通号志、路灯、建筑照明等建材的应用也逐渐普及；近年来工厂、家用等大功率太阳光发电系统也逐渐具备实用的价值，而业界也为追求更高的光电转换效率、与更低廉的建置成本而努力不懈。

此种光电转换过程中，负责吸收、撷取太阳光、并转换为电能输出的太阳能晶圆为不可或缺的要素；无论出厂前，采购使用时，均必需进行相关测试与分类、包装，且随市场需求的大量提升，产量大幅成长，如何提升检测的效率、精确性、及减少晶圆于检测中意外受损，也成为自动化检测机台改进的重点。

为确保如图1所示的太阳能晶圆1正反两面的电极与光照面结构均符合预期，现有技术中有一种技术方案，利用吸嘴吸取其中一面，并检测另一面后，将太阳能晶圆已检测面置于传输载具上，随后再检测另一未检测面。

检测机台的吸嘴将在一预定位置(图未示)吸取待测晶圆，如图2所示，受测的太阳能晶圆9在输送装置1动作及停止时，往往因惯性作用而无法与其同步，让太阳能晶圆9不能恰好停止于预定位置，使检测装置或吸嘴无法正确测量或吸取搬移待测太阳能晶圆，导致检测的不确定因素。

再者，由于太阳能晶圆厚度甚薄，容易在轻微碰撞下产生肉眼无法辨识的微裂而受损；搬移与检测过程中，只要发生些许非预期碰撞，都可能导致优良率下降、成本遽增，甚至完测的晶圆损坏而增加出货的不确定性。

因此，需要提供一种技术方案，使得太阳能晶圆在受测及被运送时，皆能大幅降低惯性偏移，将受测晶圆送抵预定位置，不仅可降低搬移与检测的不确定风险，使此类检测机台获得精确的检测结果，更能减少无谓的碰撞损坏，提升产品优良率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种输送装置及具有该输送装置的检测机台，旨在解决使片状待测物输送到正确位置并避免受损的问题。

本实用新型是这样实现的，一种输送装置，用来输送一片状待测组件，所述输送装置包括：

与所述输送装置通气连接的一组低压装置；

一组承载搬移所述片状待测组件、且形成有一通气部的皮带组；

一组驱动所述皮带组的驱动件；

一组具有一个至少部分支撑于所述皮带组下方、并对应所述通气部形成有至少一个气孔的顶板，以及一组与所述顶板形成一个通气连接至所述低压装置气室的环绕壁的吸附支撑器。

所述的皮带组包括两条彼此平行且相间隔形成所述通气部的皮带，所述吸附支撑器顶板上形成有复数个对应所述间隔的气孔。

所述的皮带组包括三条彼此平行、且沿搬移所述片状待测组件的方向镜像对称的皮带，其中所述通气部包括复数个形成于所述三条皮带中间一条皮带的通孔，且所述吸附支撑器顶板上形成有一道对应所述通孔的长槽形气孔。

所述皮带中至少一条具有一个待测组件承载面、及一个相反于且摩擦系数小于所述待测组件承载面的吸附支撑器接触面。

所述皮带组包括通气部，所述通气部包括复数个通气孔，所述吸附支撑器顶板上形成有一道对应所述通气孔的长槽形气孔。

所述吸附支撑器为一个压克力盒。

本实用新型还提供了一种具有输送装置的检测机台，用来检测一种片状待测组件，所述检测机台包括基座、供料装置、检测装置、分类装置和输送装置，所述的输送装置包括：

一组承载搬移所述片状待测组件、且形成有一通气部的皮带组；

一组驱动所述皮带组的驱动件；

一组具有一个至少部分支撑于所述皮带组下方、并对应所述通气部形成有至少一个气孔的顶板，以及一组与所述顶板形成一个通气连接至该低压装置气室的环绕壁的吸附支撑器。

所述片状待测组件为太阳能晶圆，且所述供料装置包括一个承载复数个叠置的太阳能晶圆的承载器。

所述供料装置还包括一组吸附所述叠置的太阳能晶圆最上方的太阳能晶圆至所述输送装置的吸嘴。

本实用新型克服现有技术的不足，提供的输送装置在输送片状待测物可以与其同步动作或者停止，减少太阳能晶圆检测机台于输送过程中，太阳能晶圆受到不必要的损伤，减少不必要停机，而提升检测效率及检测精度。

附图说明

图1是现有的太阳能晶圆正反两面外观立体示意图；

图2是现有的太阳能晶圆置于现有输送装置的立体示意图；