[实用新型]输送装置及具有该输送装置的检测机台

权利要求书

1.一种输送装置，用来输送一片状待测组件，其特征在于，所述输送装置包括：

与所述输送装置通气连接的一组低压装置；

一组承载搬移所述片状待测组件、且形成有一通气部的皮带组；

一组驱动所述皮带组的驱动件；

一组具有一个至少部分支撑于所述皮带组下方、并对应所述通气部形成有至少一个气孔的顶板，以及一组与所述顶板形成一个通气连接至所述低压装置气室的环绕壁的吸附支撑器。

2.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于，所述的皮带组包括两条彼此平行且相间隔形成所述通气部的皮带，所述吸附支撑器顶板上形成有复数个对应所述间隔的气孔。

3.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于，所述的皮带组包括三条彼此平行、且沿搬移所述片状待测组件的方向镜像对称的皮带，其中所述通气部包括复数个形成于所述三条皮带中间一条皮带的通孔，且所述吸附支撑器顶板上形成有一道对应所述通孔的长槽形气孔。

4.根据权利要求2或者3所述的输送装置，其特征在于，所述皮带中至少一条具有一个待测组件承载面、及一个相反于且摩擦系数小于所述待测组件承载面的吸附支撑器接触面。

5.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于，所述皮带组包括通气部，所述通气部包括复数个通气孔，所述吸附支撑器顶板上形成有一道对应所述通气孔的长槽形气孔。

6.根据权利要求1或者2或者3或者5所述的输送装置，其特征在于，所述吸附支撑器为一个压克力盒。

7.一种具有输送装置的检测机台，用来检测一种片状待测组件，所述检测机台包括基座、供料装置、检测装置、分类装置和输送装置，其特征在于，所述的输送装置包括：

一组承载搬移所述片状待测组件、且形成有一通气部的皮带组；

一组驱动所述皮带组的驱动件；

一组具有一个至少部分支撑于所述皮带组下方、并对应所述通气部形成有至少一个气孔的顶板，以及一组与所述顶板形成一个通气连接至该低压装置气室的环绕壁的吸附支撑器。

8.根据权利要求7所述的检测机台，其特征在于，所述片状待测组件为太阳能晶圆，且所述供料装置包括一个承载复数个叠置的太阳能晶圆的承载器。

9.根据权利要求8所述的检测机台，其特征在于，所述供料装置还包括一组吸附所述叠置的太阳能晶圆最上方的太阳能晶圆至所述输送装置的吸嘴。