[实用新型]非对称双光路IC芯片引脚共面性检测仪

说明书

技术领域

本实用新型涉及电子集成电路模块的检测设备，特别是非对称双光路IC芯片引脚共面性检测仪。 

背景技术

在电子集成电路器件生产的流水线上，产品性能检测是一项重要的工序，特别是SO型IC芯片在进行表面贴装时，贴装工艺对引脚的共面性提出了相当高的要求。目前国际上生产同类IC芯片引脚共面性检测仪的厂家，只具有20脚、28mm以内的芯片的大视场检测的仪器，而在国内尚未发现具有生产此类产品设备的生产厂家。以日本同类产品为代表，其检测仪器具有计算机识别、图像采集和光源照明系统，其检测方法是通过物镜景深效应及其成像清晰度来判断IC芯片是否合格，这种方法的缺点如下： 

1、检测速度慢，因需要控制好物镜的景深值0.1mm，则物镜的视场不宜过大，过大会导致像差大，尤其是轴外像差难以消除，从而很难保证景深0.1mm，故无法一次性检测28个以上的引脚，最终导致检测速度慢，一个芯片分四段进行检测，其检测一个芯片时间约需要8秒； 

2、芯片生产成本大，因其设备是将芯片的顶面作为基准面，引脚朝上，平放在设备的检测平台上，为了保证检测的平稳性，就必须保证顶面的加工平面度，以及与引脚底面的平行度，这样会对芯片本身的加工质量提出更高的要求，从而导致芯片生产成本的增加； 

3、物镜制造成本高，因物镜景深值的精度要求很高，会使物镜结构变得很复杂，从而加工成本很高； 

4、设备价格昂贵。 

为解决上述不足，本申请人在先申请了名称为“IC芯片引脚共面性检测仪”，申请号为“200810073987.4”的中国专利，采用的技术方案为：包括光学图像采集系统和自动识别软件系统，其特征是：该仪器还设置了包括芯片进料定位机构、光路切换机构和电机控制机构的机电控制系统，光学图像采集系统为左右对称的双光路传递结构，机电控制系统分别与光学图像采集系统和自动识别软件系统连接。 

其中，所述的光路切换机构包括推拉棱镜装置和滑动装置，推拉棱镜装置包括直线电机、推拉棱镜推杆、推拉棱镜底板、推拉棱镜座、直角棱镜、芯片推杆、传感器、左推拉棱镜和右行程控制杆，推拉棱镜底板左侧的下面固定在导轨滑动体上，左侧的上面与推拉棱镜座链接，右推拉直角棱镜、左推拉直角棱镜固定在推拉棱镜底板与推拉棱镜座所围着的空隙中，推拉棱镜底板中部的长槽中分别固定了左行程控制杆、右行程控制杆、推拉棱镜底板右侧端面与固定在电机支撑座上的直线电机相连，推拉棱镜底板右侧下面与芯片推杆相连，传感器固定架的左端固定在电机支撑座的顶端，传感器固定架的右侧两端各固定在左右的主支撑架的顶部，传感器固定在传感器固定架的中部；滑动装置包括支撑块、导轨基座、滑轨座和导轨滑动体，支撑块固定在主支撑架上，滑轨座固定在支撑块的中部，左右各一导轨基座固定在滑轨座上，两导轨基座中间夹着导轨滑动体，并在接触的面上填满滚珠。 

所述的光学图像采集系统为双光路成像，在芯片定位机构的左右两边对称设置有照明光源箱、三片聚光镜、光阑和半反半透镜，在主支撑架的顶端内面设置有与半反半透镜相对的两个直角棱镜，直角棱镜设置在直角棱镜座中，左推拉棱镜和右推拉棱镜亦为两个并排反射面相反，反射面与直角棱镜相对，且左推拉棱镜和右推拉棱镜设置在推拉棱镜座中，推拉棱镜座设置在推拉滑动机构上。 

采用上述的技术方案，在实践中发现其转换光路的方式存在一定的缺陷，其原因是：转换光路是通过安放在推拉棱镜座和推拉棱镜底板中两个反射面相反且并排放置的直角棱镜(右推拉直角棱镜、左推拉直角棱镜)，加上通过直线电机对连接在推拉棱镜底板上的直线导轨的往复控制来实现。 

这种方式主要存在两个问题：1、工作一段时间后直线导轨容易磨损，会影响到直线导轨的移动精度，移动的偏差导致直角棱镜(右推拉直角棱镜、左推拉直角棱镜)无法推至正常光路中的指定位置，从而影响光线传输，导致成像质量变差，最终使系统判别失效；2、检测的频率不能进一步提高，检测频率过高，会加快直线导轨的磨损，影响移动精度。为克服这两个问题就必须频繁对设备进行保养和调试(更换直线导轨)。 

因此，检测仪只能应用在检测频率为300～400片/小时的场合，检测速度较慢。 

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有技术的不足，而提供一种结构新颖、成本较低、检测速度较快，性能可靠的非对称双光路IC芯片引脚共面性检测仪。 

本实用新型的目的是通过下述的技术方案来实现的：