[实用新型]采用三段喷淋的蚀刻喷管组合有效
| 申请号： | 200920134999.3 | 申请日： | 2009-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN201501928U | 公开（公告）日： | 2010-06-09 |
| 发明（设计）人： | 梁敬业;戈梁卿;李志全 | 申请（专利权）人： | 东莞美维电路有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 523000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 采用 喷淋 蚀刻 喷管 组合 | ||
1.一种采用三段喷淋的蚀刻喷管组合，其特征在于，包括依次排布的旋转摇摆喷管喷淋段、摇摆喷盘喷淋段、及补偿喷淋段；所述旋转摇摆喷管喷淋段包括数根与蚀刻线方向一致的旋转喷管，所述摇摆喷盘喷淋段包括数个依次排布的喷盘，补偿喷淋段包括数根与蚀刻线方向垂直的补偿喷管。
2.如权利要求1所述的采用三段喷淋的蚀刻喷管组合，其特征在于，所述数个喷盘均包括数根与蚀刻线方向垂直的摇摆喷管。
3.如权利要求1所述的采用三段喷淋的蚀刻喷管组合，其特征在于，所述数根旋转喷管上均等距离设有数个旋转喷嘴，相邻旋转喷管之间的旋转喷嘴交错排布。
4.如权利要求3所述的采用三段喷淋的蚀刻喷管组合，其特征在于，所述同一根旋转喷管上旋转喷嘴的间距为15-25cm。
5.如权利要求2所述的采用三段喷淋的蚀刻喷管组合，其特征在于，所述数根摇摆喷管上均等距离设有数个摇摆喷嘴，相邻摇摆喷管之间的摇摆喷嘴交错排布。
6.如权利要求5所述的采用三段喷淋的蚀刻喷管组合，其特征在于，所述同一根摇摆喷管上摇摆喷嘴的间距为9-15cm。
7.如权利要求1所述的采用三段喷淋的蚀刻喷管组合，其特征在于，所述数根补偿喷管上均等距离设有数个补偿喷嘴，相邻的补偿喷管之间的补偿喷嘴交错排布，该数根补偿喷淋管的补偿喷嘴共同形成一三角型排布。
8.如权利要求7所述的采用三段喷淋的蚀刻喷管组合，其特征在于，所述同一根补偿喷管上补偿喷嘴的间距为9-15cm。
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