[实用新型]一种研磨机的研磨底盘

权利要求书

1.一种研磨机的研磨底盘，其特征在于，所述研磨底盘由上表面中心凸设一用于放置研磨胶垫及砂纸的圆柱形内盘其外边缘向上延伸出一圈外延的圆形主盘和设置在所述内盘外圆周表面且其上沿略高于内盘的阻挡构件组成，所述内盘上表面和主盘下表面的表面加工精度均为±2微米；内盘上表面与主盘下表面之间的平行度误差小于2微米。

2.根据权利要求1所述的研磨机的研磨底盘，其特征在于，所述内盘上表面与主盘下表面之间的平行度误差小于1.5微米。

3.根据权利要求1所述的研磨机的研磨底盘，其特征在于，所述内盘上表面和主盘下表面的表面加工精度均为±1.5微米。

4.根据权利要求1所述的研磨机的研磨底盘，其特征在于，所述阻挡构件为嵌套在内盘外圆周表面上并与内盘固定连接的环形挡圈。

5.根据权利要求1所述的研磨机的研磨底盘，其特征在于，所述阻挡构件为与内盘固定连接或与主盘固定连接的L型或直边型挡片，所述挡片为复数个。

6.根据权利要求4所述的研磨机的研磨底盘，其特征在于，所述挡圈与内盘通过过盈配合连接或通过螺丝固定连接。

7.根据权利要求3所述的研磨机的研磨底盘，其特征在于，所述挡圈上端面均匀设置有复数个便于更换研磨胶垫的凹槽。

8.根据权利要求4所述的研磨机的研磨底盘，其特征在于，所述挡圈下端面均匀设置有复数个用于拆装所述挡圈的凹槽。

9.根据权利要求1所述的研磨机的研磨底盘，其特征在于，所述主盘下表面中部周向均匀设置有三个与轴承配合实现研磨底盘自转与公转的孔。