[实用新型]用于微钻的扫描电镜检测的固定装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及微型钻头夹具技术领域，更具体的说，涉及一种用于微钻的扫描电镜检测的固定装置。

背景技术

在微型钻头加工领域，为了检测钻头钻尖部分的磨损情况，通常会在显微镜下对钻尖部分进行放大观察。可是普通显微镜的放大程度是有限的，为了能观察到微米级别下钻头的磨损情况，进而分析钻头磨损机理，我们想到了采用扫描电镜对微钻的钻尖部分进行检测。

扫描电镜，即扫描电子显微镜，是1965年实用新型的较现代的细胞生物学研究工具，主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，即用极狭窄的电子束去扫描样品，通过电子束与样品的相互作用产生各种效应，其中主要是样品的二次电子发射。二次电子能够产生样品表面放大的形貌像，这个像是在样品被扫描时按时序建立起来的，即使用逐点成像的方法获得放大像。

扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的人射电子轰击物质表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时，也可产生电子-空穴对、晶格振动(声子)、电子振荡(等离子体)。原则上讲，利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。扫描电子显微镜正是根据上述不同信息产生的机理，采用不同的信息检测器，使选择检测得以实现。如对二次电子、背散射电子的采集，可得到有关物质微观形貌的信息；对x射线的采集，可得到物质化学成分的信息。正因如此，根据不同需求，可制造出功能配置不同的扫描电子显微镜。

扫描电子显微镜由三大部分组成：真空系统，电子束系统以及成像系统。由于扫描电镜的特殊原理，被检测的样品在放入样品仓后，需要密封，抽真空，再调焦、拍照，结束后仍需先注入空气，恢复常压后才能取出样品。

由于要对微钻的钻尖部分进行检测，就必须在对微钻通电的情况下，保持钻头在完全垂直于样品台，如有倾斜则不利于观察钻尖部分刃面完整的磨损形貌特征，而由于扫描电子显微镜的样品仓的空间是很小的，而且样品仓的载重也是有限的，现有技术中尚没有适合在扫描电镜检测过程中使用的供夹持微钻的固定装置。

实用新型内容

为克服上述缺陷，本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能放置在扫描电子显微镜的样品仓内的用于微钻的扫描电镜检测的固定装置。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：

一种用于微钻的扫描电镜检测的固定装置，包括由导电材料制成的承载体；所述的承载体的底面水平，其表面设有垂直于底面的、向上方贯通的凹槽；所述的固定装置还包括设置在承载体的凹槽外侧的、向凹槽内的方向提供紧固力的固定件。

所述的固定件为弹性圈，所述凹槽两个棱边的直线距离小于被夹持的微钻钻柄部分的直径。

所述的凹槽为V形槽。V形槽的两面可以提供很好的夹紧力，再通过固定件提供的紧固力，使得凹槽可以很好的固定住放置在V形槽内呈竖直状态的微型钻头。

所述V形槽内壁设有磨砂层表面。将V形槽的内壁做成磨砂表面，可以增大放置在V形槽内的微钻与V形槽之间的摩擦力，能够更好的固定微钻。

所述的V型槽所述的V型槽两个槽壁之间的夹角范围为30-150°；其槽宽范围为：；其中D为微钻钻柄部分的直径。

所述的V型槽两个槽壁之间的夹角为90°；其槽宽为2.0mm。

所述的承载体上表面也为水平面；凹槽为通槽。这样承载体可以不用分上下端，都可使用。

所述的承载体为圆柱体。

所述的凹槽设有9个，等间距分布在圆柱体的侧表面。

所述的承载体在每个凹槽附近设有不同的标注标识。

本实用新型提供了一种用于微钻的扫描电镜检测的固定装置，使微型钻头能够固定在承载体的竖直的凹槽内，通过设置在凹槽外的向凹槽内的方向提供紧固力的固定件固定。由于本实用新型所述的固定装置结构简单，因此体积可以做的很小，可以轻松的放置在扫描电镜的样品仓内，使通过扫描电镜对微钻的钻尖部分进行检测成为可能。

附图说明

图1是本实用新型实施例的用于微钻的扫描电镜检测的固定装置的承载体的结构示意图；

图2是本实用新型实施例的用于微钻的扫描电镜检测的固定装置的承载体的截面示意图。

其中：1、承载体；11、凹槽。

具体实施方式

下面结合附图和较佳的实施例对本实用新型作进一步说明。