[实用新型]用于微钻的扫描电镜检测的固定装置无效

专利信息
申请号: 200920130029.6 申请日: 2009-02-17
公开(公告)号: CN201368824Y 公开(公告)日: 2009-12-23
发明(设计)人: 杨凡;付连宇;王成勇 申请(专利权)人: 深圳市金洲精工科技股份有限公司
主分类号: G01N1/36 分类号: G01N1/36;G01N23/22
代理公司: 深圳新创友知识产权代理有限公司 代理人: 邢 涛
地址: 518116广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 用于 扫描电镜 检测 固定 装置
【权利要求书】:

1、一种用于微钻的扫描电镜检测的固定装置,其特征在于,包括由导电材料制成的承载体;所述的承载体的底面水平,其表面设有垂直于底面的、向上方贯通的凹槽;所述的固定装置还包括设置在承载体的凹槽外侧的、向凹槽内的方向提供紧固力的固定件。

2、如权利要求1所述的一种用于微钻的扫描电镜检测的固定装置,其特征在于,所述的固定件为弹性圈,所述凹槽两个棱边的直线距离小于被夹持的微钻钻柄部分的直径。

3、如权利要求1所述的一种用于微钻的扫描电镜检测的固定装置,其特征在于,所述的凹槽为V形槽。

4、如权利要求3所述的一种用于微钻的扫描电镜检测的固定装置,其特征在于,所述V形槽内壁设有磨砂层表面。

5、如权利要求3所述的一种用于微钻的扫描电镜检测的固定装置,其特征在于,所述的V型槽两个槽壁之间的夹角范围为30-150°;其槽宽范围为:其中D为微钻柄部直径。

6、如权利要求5所述的一种用于微钻的扫描电镜检测的固定装置,其特征在于,所述的V型槽两个槽壁之间的夹角为90°;其槽宽为2.0mm。

7、如权利要求1所述的一种用于微钻的扫描电镜检测的固定装置,其特征在于,所述的承载体上表面也为水平面;凹槽为通槽。

8、如权利要求7所述的一种用于微钻的扫描电镜检测的固定装置,其特征在于,所述的承载体为圆柱体。

9、如权利要求8所述的一种用于微钻的扫描电镜检测的固定装置,其特征在于,所述的凹槽设有9个,等间距分布在圆柱体的侧表面。

10、如权利要求9所述的一种用于微钻的扫描电镜检测的固定装置,其特征在于,所述的承载体在每个凹槽附近设有不同的标注标识。

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