[实用新型]透明导电膜玻璃制作系统

权利要求书

1、一种透明导电膜玻璃制作系统，其特征在于，包括：用于对进入的厚素玻璃的一面镀以透明导电膜的镀膜装置(11)；对镀透明导电膜玻璃的镀膜面进行化学蚀刻保护的蚀刻保护装置(12)；用于对蚀刻保护装置馈送来的玻璃的另一面进行蚀刻减薄的蚀刻减薄装置(13)，以及用于去除经过蚀刻减薄的玻璃的保护层的保护层去除装置(14)。

2、根据权利要求1所述的透明导电膜玻璃制作系统，其特征在于，所述蚀刻保护装置(12)为真空吸盘保护装置。

3、根据权利要求2所述的透明导电膜玻璃制作系统，其特征在于，所述真空吸盘保护装置包括密封并全面覆盖平板玻璃(24)导电膜面并将平板玻璃(24)吸附住的真空吸盘(21)；在真空吸盘(21)内部设有密闭的抽气孔道(26)以及与所述抽气孔道(26)相通的真空缓冲腔体(27)，通过抽气孔道(26)与真空缓冲腔体(27)形成的密闭腔室，在与外接真空泵源断开情况下维持真空吸盘(21)与平板玻璃(24)之间的真空度在整个减薄蚀刻流程中吸附住平板玻璃(24)。

4、根据权利要求3所述的透明导电膜玻璃制作系统，其特征在于，还包括设置在真空吸盘(21)底部的传输辊22和设置在真空吸盘(21)顶部的导向滑轮23。

5、根据权利要求1-4中任何一项所述的透明导电膜玻璃制作系统，其特征在于，送入所述镀膜装置(11)中的厚素玻璃是0.4毫米至1.1毫米厚度的玻璃。

6、根据权利要求1-4中任何一项所述的透明导电膜玻璃制作系统，其特征在于，经过所述蚀刻减薄装置(13)的透明导电膜玻璃是减薄至0.10毫米至0.25毫米厚度的玻璃。

7、根据权利要求1-4中任一项所述的透明导电膜玻璃制作系统，其特征在于，所述厚素玻璃是钠钙玻璃或硼硅玻璃。

8、根据权利要求1～4中任一项所述的透明导电膜玻璃制作系统，其特征在于，还包括对镀膜装置(11)、蚀刻保护装置(12)、蚀刻减薄装置(13)以及保护层去除装置(14)进行控制的中央处理装置(10)。